高性能MEMS压力传感器的研究的任务书任务书一、研究背景随着科学技术的不断发展，MEMS技术已经被广泛应用于各种领域。MEMS技术所制造的微小化、集成化、高性能化的传感器、执行器等微系统件已经成为多种电子产品中的重要组成部分。MEMS压力传感器是MEMS技术中最常见的一种传感器，它在汽车、医疗、工业自动化等领域有广泛的应用。如何提高MEMS压力传感器的性能，成为当前的研究热点。二、研究目的及意义本次研究旨在针对当前MEMS压力传感器存在的问题，设计出一种高性能的MEMS压力传感器。具体目标包括：1.提高MEMS压力传感器的灵敏度，平均绝对误差小于1%。2.提高MEMS压力传感器的稳定性，在50摄氏度环境下，长时间测量误差不大于2%。3.提高MEMS压力传感器的频响特性，响应速度小于50微秒。四、研究内容本次研究的主要内容包括：1.MEMS压力传感器的原理及结构的探究。2.MEMS压力传感器的性能测试方案设计，包括灵敏度、稳定性和频响特性三个方面的测试。3.MEMS压力传感器的性能测试及数据分析。4.基于测试结果，设计、优化MEMS压力传感器结构，提高其性能。五、研究计划及进度1.第一阶段：2021年4月至2021年6月。主要工作内容：研究MEMS压力传感器的原理及结构，制定MEMS压力传感器性能测试方案。预期完成的工作任务：（1）完成MEMS压力传感器的原理及结构的介绍和分析。（2）研究MEMS压力传感器性能测试的基本原理和方法。（3）制定MEMS压力传感器灵敏度、稳定性、频响特性的测试方案。2.第二阶段：2021年7月至2021年9月。主要工作内容：MEMS压力传感器性能测试及数据分析。预期完成的工作任务：（1）搭建MEMS压力传感器性能测试设备。（2）进行MEMS压力传感器的性能测试，并进行数据分析和处理。（3）根据测试结果，初步判断MEMS压力传感器存在的问题，并制订优化方案。3.第三阶段：2021年10月至2022年1月。主要工作内容：基于测试结果，进行MEMS压力传感器结构修改和性能优化。预期完成的工作任务：（1）根据测试结果，对MEMS压力传感器的结构进行初步修改。（2）进行MEMS压力传感器性能测试，分析测试结果并进行性能优化。（3）对MEMS压力传感器经过三次优化后，进行最终测试及数据分析，并撰写研究报告。六、研究经费及资助来源本次研究需购置硬件设备、实验器材、样品制造等，预估经费为10万元。研究资金可通过学校科技项目申请、企业赞助或应用基金等途径获得。七、参考文献1.徐亚青.基于MEMS技术的微压传感器研究[J].传感技术学报,2005,18(4):742-745.2.李晔,张强,等.基于MEMS技术的微型压力传感器设计[J].仪器仪表学报,2016,37(6):1308-1313.3.颜彪,刘文超,等.基于MEMS技术的微型压力传感器[J].航空学报,2010,31(3):641-646.