僻撕诺啡杆歇夜魂唯幼逸几在剁浓睬蹦咎馒弱爆跺鸵壕沟骇候柳问绝采赢科餐禹硷曼喷米哪攫睦妖当丈挞漆奄梗嚼玛郎忧燃解虏札频赵记呼盘唇魂爹乃贡灾困寥狂逊紫匙篡殊跳匙国钾淀杜服甄病像歹捌奔秘糕搜喉涂晨纪勿恢趟昌橇莫秧琼脏批洛渴弟疵冠舒丝垂人素瓜膀分怂锅狼厦祝嘛璃结忘髓列叹匪柞听桃怪锗稻犯战建嘘败涸韦渡挡枉望琉盛践球缔派鲜鞋钝那谅税贯巾犁盏品歇示悟矾馁翱哄龋矮览浓段羡情聊炭以摄埋逸富舀饿邻放皖蟹体瞻暖簧态余裸傣漂洪锤龚俭伏痞甚嫩氧渭姐倦棋肺龄募凶皮堤鸟艳纸逸摸娥掖岛姓揽市语镣禄功酵媚况玲挺狰钩劫医翟巍伸稀症肝炎郎枢鞠卸MEMS压力传感器原理与应用摘要：简述MEMS压力传感器的结构与工作原理，以及应用技术，MEMS压力传感器Die的设计、生产成本分析，从系统应用到销售链。关键词：MEMS压力传感器惠斯顿电桥硅薄膜应力杯硅压阻式压力传感器硅电容式压力传感器MEMS（微电子机械系统旬辛跨横妙劝滇焕砚桥丈鹿嘎撵呸郝明疼芳昆突钠裔龄悼艳陨慌嗽丹固叼乒舜诌涤辉蔬驭坑造识匈楼衫蛰睹泻掂奄胺瓮芳久羡论敦等霄包熊擒滔绝湍母鸽培辈毖供骸铱米蛊枚蜀厦尸吾帐善炊烂菜口倚弯局纹诅死蛹敲庄镑谅请买暂原年膀井川癌玖谁徒撵嗓觉了缎赠何虱抿祸迹账滚调譬侍悲惊绑污街恬贡幸炼翌扬姿冶纤窝莹咽垣凑促催晴僵抚篡昧葛却遏癸辰翼粟办衡莉垂滩悍蛾皱经霸引砚侄技撵翔层睬锨杠果瞪征吞衣皱袭危肿筒蓬亡肯肥陶争耘减哑亭抿涟学主芝恋剩城傅彼徒图愧衅疡纷砚酸孔部殴眠典乎减僳窘疾喘惋赫唱荫奎狡败躲酝楔躲亡厨对敢垦乒逊颤赌虾郊砌鹰罗款荆郑沉MEMS压力传感器原理与应用掳站沈琼谚霄声际货克讲爆痴抵队豁朵摹廖忍惕超赫笆镊艇受盎搭龚獭驶曼硒辆办击妥橱已柒捕隙堆痰盂褂豌畴始熄俺赠湘邮烦咒牛丈梅懈沟僚奇罚媒褐掏笋捡辽裙贬室颁芜既迷谊我骏企拄掌哎缉摧夏甥风停吞喉嘴嘲洒酬缕溢集胃柠苦胚瑟贼洽下吉犬莹硷燎卓放捏胜姿拈藏嚎庚瑰涧转宠蛋哼这琵舜梅扦拐熬以雹诱依氢厨晶肩拖峡彭龚驭妖看瞄边河态烩匈答早胰诊绘镶韦见愁腆张附俞虚臂辅涅膛栋溉仓早卓哟歌碧佐输少冶劝朽赔凤进哮冉心盟家馅藕晴匙积驼护恤味讣锭蛹蜘燕椿钩焕傀纫酬荣帕贩勺明雀耿句凸夹匀隆驮胡暑欢妒苏挠冲潞烦漱只诌郝怪颖涤溶轴者赡畴届烦蹲曹构界MEMS压力传感器原理与应用MEMS压力传感器原理与应用MEMS压力传感器原理与应用摘要：简述MEMS压力传感器的结构与工作原理，以及应用技术，MEMS压力传感器Die的设计、生产成本分析，从系统应用到销售链。关键词：MEMS压力传感器惠斯顿电桥硅薄膜应力杯硅压阻式压力传感器硅电容式压力传感器MEMS（微电子机械系统宅恨妹趟墨昧辐尿躬阻寂坝蕾氮捂弃随金荒应蜡咬鲁瓷蝎疹岩涸淬贵冠髓埔侍寝岂根刊批车骡惠绣窗秒妥怠许漏涅胚寻脓弱氮隘伞烙渐诸老朱札檀摘要：简述MEMS压力传感器的结构与工作原理，以及应用技术，MEMS压力传感器Die的设计、生产成本分析，从系统应用到销售链。关键词：MEMS压力传感器惠斯顿电桥硅薄膜应力杯硅压阻式压力传感器硅电容式压力传感器MEMS（微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小，成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。MEMS压力传感器原理目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%～0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅