ULSI铜互连层CMP抛光液研究的任务书任务名称：ULSI铜互连层CMP抛光液研究任务目的：研究ULSI铜互连层CMP抛光液，优化抛光工艺参数，提高抛光效率和互连层的质量。任务内容：1.收集并分析ULSI铜互连层CMP抛光液的相关文献，了解其制备工艺、成分和性能。2.确定几种常用的制备方法，制备出几组不同成分的CMP抛光液。3.对制备的CMP抛光液进行测试，测定其表面张力、粘度、pH值、抛光速率等性能指标。4.在已有的抛光工艺基础上，进行CMP抛光实验，探究不同CMP抛光液在不同工艺参数下的抛光效果。5.比较不同CMP抛光液的抛光效果和互连层质量，优化抛光工艺参数，提高抛光效率和互连层的质量。任务进度：第一周：收集相关文献，了解ULSI铜互连层CMP抛光液的制备工艺和性能。确定几种常用的制备方法。第二周：制备出几组不同成分的CMP抛光液，并进行性能测试。第三至四周：进行实验探究不同CMP抛光液在不同工艺参数下的抛光效果。第五至六周：比较不同CMP抛光液的抛光效果和互连层质量，优化抛光工艺参数。第七周：整理实验数据，撰写实验报告。任务成果：1.ULSI铜互连层CMP抛光液的研究报告。2.实验数据和结果展示。3.抛光工艺参数优化方案。