LED陶瓷散热基板.doc
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LED的发展趋势陶瓷散熱基板與MPCB的比較陶瓷基板工艺陶瓷散热基板特性比较Al2O3/AlN陶瓷散热基板特性工艺流程性能测试产品应用LED的发展趋势随着科技日新月异的发展,近年来全球环保的意识增强,如何有效开发出节能省电的科技产品已成为现今趋势。就LED产业而言,慢慢这几年内成为快速发的新兴产业之一,在2010年的我国世博会中可看出LED的技术更是发光异彩,从上游到下游的生产制造,每一环节都是非常重要的角色。陶瓷散热基板与MPCB的比较陶瓷散热基板工艺◆LTCC(Low-TemperatureCo-firedCeramic)◆HTCC(High-TemperatureCo-firedCeramic)◆DBC(DirectBondedCopper)◆DPC(DirectPlateCopper)陶瓷散热基板工艺-LTCCLTCC又称为低温共烧多层陶瓷基板,此技术须先将无机的氧化铝粉与约30%~50%的玻璃材料加上有机黏结剂,使其混合均匀成为泥状的浆料,接着利用刮刀把浆料刮成片状,再经由一道干燥过程将片状浆料形成一片片薄薄的生胚,然后依各层的设计钻导通孔,作为各层讯号的传递,LTCC内部线路则运用网版印刷技术,分别于生胚上做填孔及印制线路,内外电极则可分别使用银、铜、金等金属,最后将各层做叠层动作,放置于850~900℃的烧结炉中烧结成型。LTCC生产流程图陶瓷散热基板工艺-HTCCHTCC又称为高温共烧多层陶瓷,生产制造过程与LTCC极为相似,主要的差异点在于HTCC的陶瓷粉末并无加入玻璃材质,因此,HTCC的必须再高温1300~1600℃环境下干燥硬化成生胚,接着同样钻上导通孔,以网版印刷技术填孔与印制线路,因其共烧温度较高,使得金属导体材料的选择受限,其主要的材料为熔点较高但导电性却较差的钨、钼、锰…等金属,最后再叠层烧结成型。陶瓷散热基板工艺-DBCDBC直接接合铜基板,将高绝缘性的AL2O3或ALN陶瓷基板的单面或双面覆上铜金属后,经由高温1065~1085℃的环境加热,使铜金属因高温氧化、扩散与Al2O3材质产生(Eutectic)共晶熔体,使铜金与陶瓷基板黏合,形成陶瓷复合金属基板,最后依据线路设计,以蚀刻方式备制线路.DBC生产流程图陶瓷散热基板工艺-DPCDPC亦称为直接镀铜基板,首先将陶瓷基板做前处理清洁,利用薄膜专业制造技术-真空镀膜方式于陶瓷基板上溅镀结合于铜金属复合层,接着以黄光微影之光阻被覆曝光、显影、蚀刻、去膜工艺完成线路制作,最后再以电镀/化学镀沉积方式增加线路的厚度,待光阻移除后即完成金属化线路制作。我司陶瓷基板就是采用DPC工艺DPC生产流程图陶瓷散热基板特性比较◆热传导率◆操作环境温度◆工艺能力陶瓷散热基板特性比较-热传导率LTCC为降低其烧结温度而添加了30%~50%的玻璃材料,使其热传导率降至2~3W/mK左右;HTCC因其普遍共烧温度略低于纯Al2O3基板之烧结温度,而使其因材料密度较低使得热传导系数低Al2O3基板约在16~17W/mK之间。陶瓷散热基板特性比较-操作环境温度HTCC其工艺温度约在1300~1600℃之间,LTCC/DBC的工艺温度在850~1000℃之间,HTCC与LTCC在工艺后对必须叠层后再烧结成型,使得各层会有收缩比例问题,DBC对工艺温度精准度要求十分严苛,必须于温度极度稳定的1065~1085℃温度范围下,才能使铜层熔炼为共晶熔体,与陶瓷基板紧密结合,若生产工艺的温度不够稳定,势必会造成良率偏低的现象。而在工艺温度与裕度的考量,DPC的工艺温度仅需250~350℃左右的温度即可完成散热基板的制作,完全避免了高温对于材料所造成的破坏或尺寸变异的现象,也排除了制造成本费用高的问题。陶瓷散热基板特性比较-工艺能力LTCC与HTCC均是采用厚膜印刷技术完成线路制作,厚膜印刷本身即受限于网版张力问题,一般而言,其线路表面较为粗糙,且容易造成有对位不精准与累进公差过大等现象。此外,多层陶瓷叠压烧结工艺,还有收缩比例的问题需要考量,这使得其工艺解析度较为受限。DBC虽以微影工艺备制金属线路,但因其工艺能力限制,金属铜厚的下限约在150~300um之间,这使得其金属线路的解析度上限亦仅为150~300um之间(以深宽比1:1为标准)。陶瓷散热基板特性比较-工艺能力DPC则是采用的薄膜工艺制作,利用了真空镀膜、黄光微影工艺制作线路,使基板上的线路能够更加精确,表面平整度高,再利用电镀/电化学镀沉积方式增加线路的厚度,DPC金属线路厚度可依产品实际需求(金属厚度与线路解析度)而设计。一般而言,DPC金属线路的解析度在金属线路深宽比为1:1的原则下约在10~50um之间。因此,DPC杜绝了L