1.0微米先进铝栅工艺开发的任务书任务名称：1.0微米先进铝栅工艺开发任务目标：开发能够实现1.0微米线宽的先进铝栅工艺，达到以下目标：1.精度：线宽最小可达1.0微米，偏差控制在±0.1微米内；2.成本：工艺成本不超过10美元/平方英寸；3.良率：产品一次穿透率不低于90%，产品不良率不超过1%。任务内容：1.设计并优化1.0微米先进铝栅工艺流程；2.实验验证优化后的工艺，确定最佳参数；3.优化设备和工具，并进行测试和验证；4.完成1.0微米先进铝栅工艺测试片的生产和评估；5.提供工艺流程、技术规范和日常维护指南。任务时间：该任务的实施时间为12个月，具体时间方案如下：1.工艺流程设计和优化：2个月；2.工艺参数优化和设备工具准备：3个月；3.工艺测试片生产和评估：3个月；4.技术规范和日常维护指南编写：2个月；5.提交最终报告：2个月。任务预算：该任务的总预算为100万美元，预算分配如下：1.设计和优化工艺流程：10万美元；2.工艺参数优化和设备工具准备：20万美元；3.工艺测试片生产和评估：40万美元；4.技术规范和日常维护指南编写：10万美元；5.提交最终报告：20万美元。备注：以上任务书仅为参考，实际任务书应根据具体情况进行修改。