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掺杂掺杂扩散杂质扩散杂质扩散源掺杂机制两种扩散机制并存一维扩散模型D的温度依赖性预沉积分布余误差函数预沉积预沉积与推进后浓度与深度关系结深计算也叫发射区推进效应扩散分布的测试分析扩散系统半导体加工工艺原理定义离子注入的优点离子注入离子注入机种类:离子注入系统质量分析器加速器注入剂量剂量的控制库仑散射与离子能量损失机理垂直射程垂直投影射程MonteCarloSimulationof50keVBoronimplantedintoSi离子注入损伤与退火ImplantationDamageImplantationDamageImplantationDamageRapidThermalProcessing离子注入的应用举例离子注入的应用举例