透明導電薄膜(TCO)之原理及其應用發展1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物(TransparentConductiveOxide,TCO)2.TCO的導電原理3.TCO的光學性質4.TCO薄膜之市場應用及發展1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物(TransparentConductiveOxide,TCO)2.TCO的導電原理3.TCO的光學性質4.TCO薄膜之市場應用及未來發展什麼是透明導電薄膜?純金屬薄膜􀀹Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh，在<10nm厚度的薄膜，均有某種程度的可見光透光度早期使用之透明電極缺點：光的吸收度大、硬度低、穩定性差透明導電薄膜HistoryofTCO透明導電薄膜主角--ITOITO是什麼？WhychooseITO?ITO之組成及特性ITO組成在In2O3/SnO2=90/10時􀀩最快的蝕刻速率銦(In)礦的主要應用各種TCO材料--ZnO系透明導電膜1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物(TransparentConductiveOxide,TCO)2.TCO的導電原理3.TCO的光學性質4.TCO薄膜之市場應用及未來發展TCO薄膜的導電原理(n-typeTCO)--ITO材料之導電率σσ=neμ其中n=載子濃度(就TCO材料包括電子及電洞)e：載子的電量μ：載子的mobilityTCO薄膜的導電原理TCO薄膜的導電原理TCO薄膜的導電魚與熊掌不可兼得1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物(TransparentConductiveOxide,TCO)2.TCO的導電原理3.TCO的光學性質4.TCO薄膜之市場應用及未來發展TCO的光學性質為降低In2O3、SnO2、ZnO等透明導體的電阻率，通常加入Sn、Al、Sb等摻雜物以提高載子密度。載子密度增加會影響透明性電漿頻率ω=(4πne2/m*)1/2AZO(antimonydopedtindioxide)電阻比=面阻值x膜厚(ρ=γxD)1.高穿透度、吸收小2.低電阻比﹙以較低之薄膜厚度得到較佳之導電性﹚3.膜厚均勻性4.良好的附著力5.蝕刻製程容易6.耐候性佳，受環境影響小7.無Pinhole8.無Hilllock1.ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹透明導電氧化物(TransparentConductiveOxide,TCO)2.TCO的導電原理3.TCO的光學性質4.TCO薄膜之市場應用及未來發展TCO薄膜之市場應用–ITO之應用DisplayApplicationPMLCDDisplayApplicationAMLCDDisplayApplicationOLEDDisplayApplicationPDPTouchPanelSolarcellElectrochromicWindow(電致變色玻璃)常用TCO之應用ITO及TCO薄膜未來需求之課題參考文獻