NLSD光路架設S.O.P.Introduction光路介紹架設光路Spatialfilter的架設四點對心Grating週期之量測有誰光路調的比我快??光路介紹光學桌守則：勿動平台上任何東西!!by彬BeamSteering1.為了避免雷射冷卻水的擾動，而將雷射與光路上其它的元件架設在不同的桌子上，由於這兩張桌子之間受到各種影響有可能發生位移，透過detector對光路定位，利用beamsteering來追跡這個位移並自動校準。2.架設mirror時，儘量使光線能夠對準圓心入射俯視圖光路架設1.目的：調整射出光束，使之行進方向為我們所設定之方向2.光路組成：光源＋兩個iris(高度校準過)3.量測：使用兩個iris，先將一iris置於遠端(iris1)，使光通過此iris1，再將此iris1拔起，換上另一個iris2(用V溝固定，因為兩iris因製作上的關係會有些許的差異)，固定於同一位置，在使光通過iris2，再將iris1放置於光路近端，調整光源使其通過兩iris，完成光路校準4.方法：近”移”遠”轉”1.使用兩個iris，先將一iris置於遠端(iris1)，使光通過此iris1，再將此iris1拔起光源2.換上另一個iris(用V溝固定，因為兩iris會有些許的差異)，2iris固定於同一位置，在使光通過iris12iris23.將iris1放置於光路近端，調整光源使其通過兩iris，完成光路校準iris1iris2近移遠轉(俯視圖)irisiris22近移想要光路的iris1方向光源(雷射)經過多次近遠移轉遠轉之後光源Example校正好雷射後，裝上beamsteering，此時的光源為beamsteering，再重複上述光路校準的步驟1～3即每裝上新的光學元件此光學元件即為”光源”，不斷重複步驟1～3即可完成基本光路架設beamsteering(光源)重複步驟1～3SpatialfilterSpatialfilter：透鏡＋pinhole作用：過濾雷射之雜訊，並在其後擴束產生平行光pinhole透鏡Spatialfilter的調整先將spatialfilter的透鏡盡量靠近pinhole，再慢慢拉遠，一邊調整pinhole的位置，一直調整到光點最亮最均勻的位置(即焦點的位置)正面pinhole透鏡pinhole當透鏡的焦點通過pinhole時，會在pinhole後方產生一個最亮的光點pinhole透鏡四點對心mirrorwaferstage目的：按照所顯示的順序依序調整大mirror使光點重合1：先用wafer擺置在stage上，使兩道雷射光在wafer上產生反射，再利用白紙放在wafer上，調整wafer上的旋鈕使兩光點重合23：用白紙遮住光的行進方向，調整旋鈕使光點重合若均無法由肉眼判斷在菱型線上有光點的分離即完成四點對心可縮小iris增加調整的解析度33mirror22wafer1stageConfidential週期的量測原理：再stage上放一鋁塊邊壁上刻有刻度，藉由移動stage造成的橫向位移，和光點在鋁塊上產生的垂直位移可算出光的入射角-1LeftBeamΘL＝tanΔX/ΔHL-1RightBeamΘR＝tanΔX/ΔHRGratingPeriodP＝λ/2․sinΘLRRLStageΔHLΔHRMotionθLθRθLθRΔX週期量測方法Confidential將鋁塊放置在stage上，移動stage使鋁塊方向平行stage的移動方向(光點沿著尺規移動)移動stage，量出入射角，算出週期沿著尺規移動Thanksforyourattention