-目录-1.作用及要求2.设备的主要组成3.操作及Program的编写方法4.问题点及说明作用及要求作用：在WAFER表面涂上药品。使PNPWAFER表面生成涂上SOURCE。要求：厚度在6000±300Å操作及Program的编写方法确认连接PLC和电源供给打开后，自动驱动监控屏幕出现。（2）HOME操作返回自动操作屏幕。当它闪烁时按它，自动操作开始。当它亮着时按它，装载器停止动作。选择ALARM时你将解除它。（直接选择或箭头按纽）所有WAFER走出LOADER后，LOADER上升，ENDBUZZER发声。TIMESIGNALDISPLAYI/OMONITORDISPLAY变换到主菜单屏幕。变换到I/OMONITOR屏幕2)作业方法(1)准备COATING作业的WAFER.(2)选择COATING作业的PATTERNNO.①确认PATTERNNO是否选择了1号.②PATTERNNO不为1时,按下述方法选择.*选择PATTERNNUMBER的方法.A)TOUCHSCREEN选择“RECIPEEDIT“状态B)在PROGRAMBOARD连续(3)TOUCHSCREEN选择“OUTOMATICOPERATIONMONITOR”(4)LOAD-ELECVATOR上LOADING装有要作业的WAFER的CARRIER-BOAT(CASSETTE).(5)UNLOADER-ELEVATOR上LOADING空的CARRIER-BOAT.→作业准备结束,开关闪烁(6)按开关,SWITCHON,开始进行作业.(7)确认WAFERLOADING状态,SOURCEDISPENSE量,SPIN状态,COATING状态是否良好.(8)COATING作业结束后,ALARM响时,按KEY,解除ALRAM,停止作业.①发生LOADINGENDALARM时:按KEY.②发生UNLOADENDALARM时:按KEY后,移动LOADIING于UNLOADER-ELEVATOR上的CASSETTE.(9)转到下一作业.(转移之前，确认3枚/1LOT以上的COATING状态).rpm(2)确认输入旋转数ＤＡＴＡ的方法SFTPICTIME表示000.0DATA表示0000INCTIME表示001.0DATA表示1500INCTIME表示004.7DATA表示1500INCTIME表示004.8DATA表示2200INCTIME表示027.8DATA表示2200INCTIME表示028.8DATA表示000.0SFTENDPOINT确认终了3)TIMESIGNAL（信号）以及功能A.Timesignal1:DopantdispensetimeB.Timesignal5:NozzlemovetimeC.Timesignal9:Autoshutterclosetime5.CSDCoaterIndex问题点及说明1)CSDCOATING结束后,tCSD=6000±300ÅSPECNG发生时,确认如下内容.(1)CSDCOATING结束后,5分钟内测量tCSD(PBF6MK-37SOURCE有很强的挥发性,tCSD的变化大).(2)确认CSDCOATINGRECIPE.(3)确认BACKING温度(BACKING1=150℃,BACKING2=60℃).(4)确认(1)-(3)项后,正常运转时,进行CSDCOATING厚度TEST(5)确认设备周围环境的温度，不能过高或者过低（22℃左右2)SOURCE不能喷射时,确认N2压力调节开关的状态,如果处于OFF状态,转换为ON状态.2)WAFER的上,中,下,左,右POINT中,中央POINT的厚度超过250Å时,调节SUBBACKVALVE.3)SOURCE部DISPENSE时,确认各LINE的N2压力是否正常.4)因MOTOR不能SPIN而不能COATING时,按PROGRAMPANLE的ENDKEY,START和END中仅使START点亮.5)作业START开关不亮时,移动LOADING部的SENSOR.6)WAFER中央部分COATING外观异常时检查如下内容.(1)确认COATING时NOZZLE是否在WAFER中央位置.(2)确认NOZZLE尖端与WAFER表面间隔.(维持4-5毫米间隔).(3)确认NOZZLE尖端切口是不是光滑并且是水平的.8)WAFER不在CUP的中间位置时，就要调节TABALA驱动的SLINDER的移动距离，以及排气状态。