万方数据微机电系统技术的研究现状和展望EPE电字工业毫用设苗Equ嘶entfor啦咖mkP刚I腓M叩山咖^吨Works趋势与展望MEMSTechnologyResearchStatusandFurtherForecast馓掣化址近儿l午自然科学和T程技术发腱领域的个艰罄冉向．m】微／纳米技术的研究则榨制电踏j：体，形成同时儿“佑血获取、处理和统的⋯【。的特征尺目i_『=微米数{t}级．系统的特机K寸a一癌米数帚缴．材料基于硅仳小仪限于硅，区别f传统的机械。¨嘘J目到很多新必领域。在未来的5～10年蚓．究将延仲至机械、材料、光学、流体、化学、医学、产宇寸，牲端摘要：敝机电系统(MEMS)是由微加工枝术制造的微型传感嚣微型执行嚣厦集成电路组成的器件或系统舟绍TMEMS技术的研究背菁和发展Ⅱ程．着重阐迷T微机电系统的核心枝求和商业应Ⅲ．其中特别提到T堆芯H系统i面的前％研究最后就MEMS技术的前景和研究方向进行7探计和展望美键词：搬扎电舔筑：馘加i技卡：≈L最境：加速度计中图分类号：TN409文献标识码：A文章编号：1004—4507(2011)04—0001．09址喙领域艇聪们巫-『12匝。微机电系统(MI-cm-Electro．Mechanical．Systems，简称MEMS)是指北微’％结构的传感器、微耻执行器种佑母处理b执¨_I：JJ能的钾能微掣器件战微，H乐缆；微机ln系自20世纪80年代起，MEMS已经走出丁最协的理论研究、器件开发和实验室研究．笈艘到一个幅与戚熟的瞬段．小仪可以人规模啦P，1协I¨_羿弃地小川领域的罩斗研L=作者对MEMS的研Abstract：MEMSisscnsor，microtechnologyEspeciallysingle—chipintroducedFinallyKeywords：MEMS：Micro-machinedfabricationtechnology；SOC；Accderometer收稿B期：20||03YANYucalZHANGDilanofInformationEngin∞dngZhejiangChina)micro-componentmicro—systemintegratedbymicroICThebackgroundoftheresearchmainapplicationswcmworksinsystemconclu—sionsdrownastowtohemfuturemayleadCollegeUnivemityofTcchnology．Hangzhou310023executorwcrc10aOrcorcat-e万方数据次前蠖围的波士顿召开。1982年．Kq=物等学科，技术影响遍及包括各种传感器件、l*疗、生物．占片、机器人、通信、能源、武器、航空5年里，除了像喷墨打印机础，外使MEMS技水延伸到其他领域成为可能。近年来，MEMS技术逐渐成熟，并成功实现了应用，建立起了MEMS产业，无疑将有利地促进n：早{I目的MEMS研究发展中，经历过许多重Smith教授利用离验系发表丁辅芙于测啵锗和硅的压阻系数的论文。返衅删hi：数据为今天压力、位移和麻变传感器它预小着微加1．、微器件和微纳米技术新时代的到来。20世纪60年代，谐振栅晶体管⋯、加速度器⋯、硅盛Jlc力传感器和应变传感器⋯的问世为微器件研究奠定了鉴础，圈l是1976年发明的声表面波脏力传堪器16i。1981年，“传感器技术学报”问世，冀1：固态传感器，执行器和微系统的国际会议第该文章埘微加工技术进行r介纠。1987年，第一次’rMEMS”棚荑的研讨会“微型机器人和远程控制”．在盖N麻省海恩尼斯举行。紧接着若于MEMS的IIlf讨会nt茭国和世界各地如雨后舂笋般纠开，扣开了微加工，微系统，礅加工技术，MEMS研究的夫门。1992年．“MEMS期刊”首次亮相。d过上的20年，科研研究机构和公司进行了太聃的MEMS研究工作。其中不乏一些成功产业(11心普喷墨打印机的喷墨头(al采用的是MEMS器件。这种喷墨头迅速占领主要的喷墨打印机市场，其利润超过IO亿美元p】。数字光处理(DLP)以数字微镜器件(DMD)为基并使其商业化。今天，DLP系统已被用到，世界各(5)生物芯片和微流体器件。(6)射频通信、光学通信、导航仪器【l”的通信1微机电系统核心技术MEMS核心技术涵盖了从基础理论、建模设计、微加工、微传感器、微执行器到封装集成测试就会遇到与宏观世界水l司的物理问题。目前。航天等领域。在垃初的10到l喷头、汽车传感器、数卒微镜器件等少数成功实现产：业化的案例外，MEMS研究的重点主要致力于微加T：技术、器件设计和MEMS研究方法的探索，这衅研究]J作奠定MEMS进一步研究的基MEMS研究和产业的口r持续发展。噩