斧52008年第27卷第2期传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)综述与一评～一论一微机电系统的现状与展望陆敬予，张飞虎，张勇(哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨150001)摘要：在过去20多年中，微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段，并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域，MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。对MEMS进行了简要的介绍，包括MEMS应用，MEMS的市场情况，以及3种主要的MEMS微制造技术，即体微制造、面微制造和LIGA技术。最后，提出了MEMS将来研究和发展的趋势。关键词：微机电系统；微细加工；展望中图分类号：TN301文献标识码：A文章编号：1000-9787(2008)02-0001—03CurrentstatusandfutureprospectofMEMSLUJing—yu，ZHANGFei—hu，ZHANGYong(SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China)Abstract：Duringthelasttwodecades，microelectromechaniealsystems(MEMS)hasadvancedfromtheearlystageoftechnologydevelopment，deviceexploration，andlaboratoryresearch，tothestageofpracticalapplications，andisexpandingtomanynewareasofexplorationandresearch．MEMStechnologyhasbecomeoneofthemostpromisingfieldsinthe21stcentury．AtutorialreviewofMEMSispresented，includingcurrentandpotentialapplicationsofMEMS，thestateoftheMEMSmarket，aswellasthreemajormicromachiningpl‘ocessesemployedtoMEMSdevices，namelybulkmicromachining，surfacemicromachiningandLIGAtechnology．Finally，theihturetrendsofMEMSresearchanddevelopmentaresuggested．Keywords：microelectromechamicalsystems(MEMS)；micromachining；prospect0引言MEMS本质上是跨学科的，它利用先进的设计理论、工微机电系统(microelectromechanicalsystems，MEMS)是程和制造技术，吸收了一系列技术的优点，包括集成电路制一种具有毫米级尺寸和微米级分辨力的微细集成设备或系造技术、机械工程、材料学、电机工程、化学化工，生物技术、统J，它通过微细加工技术在硅片或者其他基体上集成了流体力学、光学、仪表和封装技术等。应该指出，MEMS技机械零件、传感器、执行器和电子设备。丰田公司第一辆轿术的重要性不是在于其产品的尺寸，而是在于它所利用的车的微细版j．其尺寸只有原车的1／1000，是目前世界上微细加工技术E6]。MEMS工艺和设备将会对人们的生活带最小的驱动车J。来巨大影响。1959年，诺贝尔物理奖获得者理查德·费曼发表文章1MEMS的应用(Theteisplentyofroomatthebottom))，他指出“在微尺度上经过20多年的发展，MEMS已经获得了广泛的市场应操控物体的研究还是一片空白”，而这个领域“可能会展现用。工业上应用很成功的产品有基于MEMS的打印机喷出很多在复杂情形下出现的有趣而奇怪的现象”。他预言墨头．压力传感器，加速度计与数字光处理器(DLP)等，该领域“将会有大量的工程应用”。费曼的远见卓识一其中，仅喷墨头每年即创造出10多亿美元的价值。MEMS直激励着许多科学家向微小世界挺进，此后，产生了MEMS也适用于太空探索。2004年，中国将一颗由清华大学研制技术和纳米技术。1987年，首届有关MEMS的“微型机器的纳米卫星NS一1送人太空，其质量小于25kg’。通过应人和远程操控技术”研讨会在美国海恩尼斯举行。在过用基于MEMS技术的微细零件，NS一1在综合设计、制造以去的20年