Cu薄膜应力的计算机模拟与表征的任务书一、任务背景和目的薄膜是一种在表面覆盖其他材料的薄片状物体。由于其具有高比表面积和相应的性质变化，因此在现代微电子、光电子及纳米技术中得到了广泛应用。薄膜的成长过程会产生应力，而应力会对薄膜的结构和性能产生影响，因此对薄膜应力的计算机模拟与表征具有重要意义。本任务的主要目的是通过计算机模拟和实验测试，掌握薄膜应力的计算方法和表征技术，提高学生的科学实验能力和数据分析能力，培养学生的创新能力和实践能力。二、任务内容和要求1.学习薄膜应力的理论知识和计算方法，掌握有关软件的使用和操作。2.设计薄膜样品制备和实验方案，采用物理气相沉积法或其它方法制备薄膜样品，并通过X射线衍射和AFM等测试手段表征样品的结构和性能。3.进行薄膜应力的计算机模拟，运用COMSOL等软件对薄膜的成长和应力进行模拟和分析，比较实验结果和模拟结果。4.根据实验和模拟数据，分析薄膜应力的来源和影响因素，并探究提高薄膜应力稳定性的方法。5.撰写实验报告，形成清晰完整的实验记录和分析报告，并进行撰写学术论文的训练。三、参考资料1.吴光庆.薄膜物理与器件[M].北京:科学出版社,2002.2.邓义国,余忠文,翟思聪.薄膜材料与技术基础[M].北京:化学工业出版社,2007.3.杨保田.薄膜物理学与技术[M].北京:高等教育出版社,2007.4.严秀光.超薄膜物理学[M].北京:科学出版社,2005.