多晶铸锭炉简介与硅锭生产流程培训内容主要用途和特性设备的组成和工作原理1炉体部件2加热隔热系统3真空与供气系统4冷却系统5电源供应与控制系统1)工控机整个控制系统以工控机操作为上位机，上位机完成控制工艺的设置，控制过程中的监控，各种反馈信息（如：温度、水流量、隔热区位置等）出现异常报警显示，统计和记录整个硅结晶过程的各种参量的变化情况并生成图表。2）SNPA智能处理器是控制系统的下位机单元，是核心单元，完成对温度的控制，真空度及充入氩气的压力控制，隔热笼的提升控制，结晶的速度，水流量的检测，并送达上位机。3）加热器电源系统包括大容量的降压变压器以及可控硅的控制单元。4）真空系统控制单元包括对真空泵的控制，真空度的检测，以及气体流量控制。5）检测单元检测单元包括温度、水流量、隔热笼位置等检测。检测器件有热电偶，红外测温仪，流量计以及位置反馈编码器组成。6）运动单元控制运动单元控制下炉体的升降运动、隔热区的提升等动作。7）系统供电单元系统电源单元包括总电源开关，控制柜内配电保护，以及UPS等构成。工作原理通过工控机设置完成各种工艺参数和预定参数后，送达SNAP智能控制器。具体过程：将经过SiN喷涂处理后的坩埚装入硅原料，并放置在热交换台上。关闭炉体抽真空，然后通过调整可控制硅的控制单元的变压器输出的低电压高电流，电流加到石墨加热器，并通过SNAP智能控制器，自动温度控制，加热若干小时以后完全熔化硅料。当硅料完全熔化后，根据工艺要求，缓慢提升隔热笼位置，暴露出热交换台，使一部分热量散发到炉壁，通过冷却水把炉壁热量带走，交换台温度的下降会传到坩埚底部，使硅溶液形成垂直的温度梯度，此温度梯度会使硅溶液下方凝固结晶至上方。当所有的硅液都凝固后，硅锭再经过退火、通入氩气、控制冷却方式等步骤以避免硅锭出现内应力，以及减少硅锭产生的晶体缺陷（主要是点、线、面缺陷），从而提高硅锭质量性能。（硅的导电性、可切割性。）结晶炉操作界面报警窗口监控窗口自动控制窗口工艺窗口手动控制窗口趋势图窗口硅锭生产流程坩埚喷涂坩埚烘烤备料检验装料进炉监控出炉脱锭入库注意事项