薄膜材料简介.pptx
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会计学参考书第一讲薄膜材料简介薄膜材料的历史Worldwidemarketofrawmaterialsforthinfilmtechnology构成薄膜的材料按薄膜的功能及其应用分为:薄膜材料的定义薄膜材料的特点薄膜材料的特点表面效应---表面散射表面效应---电导率降低表面效应---熔点降低将代入式(1-3)得到:可见,,也就是说小球的熔点低于块材的熔点,并r越小,熔点降得越低。Pb在r=10-7cm时,Tm-Ts=150K。实验表明,薄膜材料的熔点普遍低于它相应块材的熔点。薄膜的结构和缺陷薄膜的组织结构外延(Epitaxy)薄膜的表面结构薄膜的缺陷异常结构和非理想化学计量比特性化合物的计量比,一般来说是完全确定的。但是多组元薄膜成分的计量比就未必如此了。通常随着原子比不同,其物性差异很大,即成分偏析。薄膜和基片(衬底)为什么要发展薄膜材料薄膜材料的应用耐磨、防腐与装饰涂层光学涂层材料薄膜太阳电池磁存储技术中的薄膜材料:磁头与磁记录介质微机电系统中的薄膜材料:微型反射镜组Metals:Al,Cu,Au……Glass:SiOx,SiNx……Ceramics:YBCO,PZT……Semiconductors:Si,GaAs……Polymers:PE,PMMA……薄膜材料技术的研究内容Oldpreparationproceduresinclude:DippingSprayingPaintingElectro-deposition………小结:现代的薄膜材料科学与技术Example:AcoaterfortoolcoatingsAcoaterlineforCDsandDVDsAcoatingsystemforharddisksAclusteredcoatingsystemforICAcoaterforflatpaneldisplaysAcommercialCVDequipmentforfilmdepositiononSiwafersinsemiconductorindustryAnin-linePECVDmachineforsolarcellsPECVDsystematRWE-SchottSolar,Germanywitha-Sisolarcellsproductioncapacityof3MWp/yr