第ll9O卷91第年63月捌电子元件与材料Vlo1．10No．3un．1991复合锌铝金属化薄膜简介如皋无线电三厂冯锦华摘要采用复合辞铝金属化聚丙烯薄膜的旦垄墨在交流高压太电流下工作，容量和损耗几乎无变化，高可靠、长寿命、大容量交流电容器使用复合锌铝金属化膜是发展趋势。关键词复合锌铝金属化薄膜镀铝金属化薄膜薄膜电容器长期以来，人们在制造莲膜电容器方面整卜镀层。这不但缩生产带来极大不便，而主要采用镀铝金属化薄膜。毋庸置疑，镀铝且氧化了的薄膜制成的电容器在工作时也将金属化薄膜的附着力比较好，而且生产过程发热、甚至击穿。易于处理。由于铝层表面与空气中的氧发生复台锌铝金属化薄膜是先在基膜上镀化学反应生成致密的氧化物，这种以AlO。铝，然后再在其上镀锌。在蒸镀过程中，部为主要成分的致密层阻止了内层被继续氧分铝原子通过扩散运动渗析到锌层袁碰。加化，因此，镀铝金属化薄膜存放相当长的时之，锌、铝两蒸发源之间没有间隔，铝蒸发间也不会因氧化而改变其电特性参数。但对源中的铝原子可直接蒸镀到锌层表面，其结于镀铝金属化聚丙烯薄膜电容器，在交流高构示意见图l。当然，层与层之间并没有严压大电流下工作，由于AlO的生成，特甘il辟别在电场强度彳硅太的边缘部分，常常导致电容器容量迅速下降，损耗很快增大。而目前惟容量较大的电容器，如电风扇、洗衣机、电力补偿柜等使用的电容器基本都是采用镀铝闺1金属化聚丙烯薄膜。格的界限，大多为混合物，只是各层中所含为了寻找弥补镀铝金属化聚丙烯薄膜缺某种原子多寡不同而已。这种特殊的结构充陷的办法，人们通过试验发现镀锌金属化薄分融汇了镀铝金属化薄膜与镀锌金属化薄膜膜是解决这一问题的最佳方法。采用镀锌金各自的优点。先镀铝是保证复台金属层与基属化聚丙烯薄膜制成的电容器，在交流高压膜有良好的附着力I后镀锌是为了保持锌层大电流下工作，其容量的损失及损耗的增加良好的电特性参数}至于表面的铝层就是起几乎忽略不计。但是，与镀铝金属化薄膜相保护作用了为了保证内部锌层不因表面【铝比，镀锌金属化薄膜的附着力比较差，而且层的深度氧化而损害有效电极区，必须严格在生产过程中不易处理。当锌层暴露在空气控制锌、铝比例。蜘1果含铝量偏大，就会失中能柏：很短的时间内氧化成ZnO。ZnO是去镀锌金属亿薄膜的良好电特性}如果含铝一种半导体物质，并且很疏松，在温湿条件量偏小，又会睹成深度氧化，影响电容器的寿，反而巾速镀层氧化，往往f『l天内就破坏命。另外，复锌铝金属化薄膜所需含铝量幔稿日期．1990—12—2O·47·的多少还决定于当时当地的气候，或者生在线路中将严重影响整体功能。怎样解决这产、存放薄膜的环境。总的来说，如果环境⋯难题，人们曾设想增大薄膜边缘与喷金层温度低，湿度小，那，厶，含铝量可以小些。的接触面积复合锌铝镀膜机的特殊结构，反之，则应稍大些。大致的含量比为：使这一设想成为现实，这一技术也就被称为锌；铝=9；1。从目前的生产来看，这种比边缘加厚”，其结构示意如图3。这种结构例必须由计算机控制，因为锌，铝蒸发量的直观上表现为。尺寸增大了薄膜边缘与喷金控制方式不一样，锌蒸发量由温度改变，铝层的接触面积，其实，由于加厚部分为一个整蒸发量由送丝速度决定。当计算机被给定一体，同样也包括6尺寸。从数学角度来看，个恰当的锌铝比例后，镀膜机就会自动校正含量，从而确保复台薄膜具备优良的特性。实践表明，复合锌铝金属化薄膜存放洳封的塑料袋内半年以上都不会被氧化。即使在交流高压大电流下工作1500hi圈3其电容器的容量损失也只有镀铝金属化薄膜6尺寸比尺寸要大得多，并且6尺寸相对电容器的十分之一。图2为在同一工艺条件整个膜宽还存在一个适度问题。6尺寸偏夫下制成的等容量电容器(一种是镀铝金属化了，等于整个膜面镀层加厚了J6尺寸偏小薄膜卷铡的，另一种是复合锌铝金属化薄膜了，接触面积减小，等于投有加厚。因此，卷制的)在450V、50Hz条件下高可靠试根据膜宽，6尺寸的取值范围大致为1O～验比较曲线图(本图由国外提供，o由强可15ITim。知，当试验1500h，镀铝金属化薄膜电容器复合锌铝金属化薄膜的方阻参数需要专题讨论。国外最新研究资料表明它的最佳值是7．0±0．5Q／13。根据当前国内基摸的质量及薄膜电容器制造工艺，建议选用5．5±0．5Q／13，具体选值有待试验比较后再定。，h新材料，新工艺极大地提高了产品质圈2量。采用复合锌铝金属化薄膜制成的电容的容量损失达到2．9，而复合锌铝金属化器，不但适用普通电子线路，而且特别适用于薄膜电容器的容量损失仅有0．3。按照国可靠性更高、寿命要求更长的电子线路和电际标准，容量