化学浴法半导体薄膜1.ppt
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化学浴法半导体薄膜Whythinfilms?ConventionalmethodsfordepositingfilmsConventionalmethodsfordepositingfilmsChemicalbathdeposition(CBD)化学浴沉积（ChemicalBathDeposition，CBD）技术关键：CBD的成核机理以CdS薄膜为例：NH3—H2O平衡：2NH3+2H2O↔2NH4++2OH-金属Cd络合物的生成及分解：Cd2+(aq)+4NH3(aq)↔Cd(NH3)42+硫脲的水解：S=C(NH2)2+2OH-→S2-(aq)+H2NC≡N+2H2OCdS的形成：Cd2+(aq)+S2-(aq)→CdS(s)总反应：Cd(NH3)42++S=C(NH2)2→CdS(s)+H2NC≡N+2NH4++2NH3CBD-ZnO1213工作进度:Thanks!!!

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