会计学PN结——太阳电池(tàiyánɡdiànchí)的心脏PN结的制造(zhìzào)PN结的制造(zhìzào)扩散(kuòsàn)的原理扩散(kuòsàn)装置示意图扩散(kuòsàn)装置图片扩散(kuòsàn)炉正视图扩散(kuòsàn)炉气路系统太阳电池(tàiyánɡdiànchí)对扩散的要求影响(yǐngxiǎng)扩散的因素影响扩散(kuòsàn)的因素太阳电池(tàiyánɡdiànchí)磷扩散方法各种(ɡèzhǒnɡ)扩散方法比较POCl3简介(jiǎnjiè)POCl3磷扩散(kuòsàn)原理由上面反应式生成的PCl5是不易分解的，并且对硅片表面有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下：4PCl5+5O2=====2P2O5+10Cl2↑生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散(kuòsàn)时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：2Si+2POCl3+O2===2SiO2+2P↓+3Cl2↑POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行(jìnxíng)扩散。POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点，这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。磷扩散工艺过程(guòchéng)清洗(qīngxǐ)饱和(bǎohé)扩散装片、送片回温、扩散(kuòsàn)关源(ɡuānyuán)、退舟、卸片扩散层薄层(báocénɡ)电阻及其测量方块电阻(diànzǔ)的定义扩散层薄层(báocénɡ)电阻的测试磷扩散(kuòsàn)注意事项（一）——工艺卫生磷扩散注意事项（二）——安全(ānquán)操作检验(jiǎnyàn)标准扩散工艺常见故障