扩散工艺介绍lcentrotherm扩散炉扩散工艺介绍通过工艺炉管内的气流4POCl3+3O22P2O5+5Si2P2O5+6Cl24P+5SiO2扩散工艺介绍扩散工艺介绍工艺控制?温度?时间?浓度?源温?N2-POCL3流量?炉管内的压力扩散工艺介绍典型的工艺参数p-SiP+SiO2扩散工艺介绍炉管内的反应使硅片表面沉积一层磷硅玻璃p-SiSiO2PPPP扩散工艺介绍扩散过程使表面的磷向硅片体内推进.结果就是形成一层薄的N型硅扩散工艺介绍磷浓度分布曲线l表面有磷硅玻璃l磷掺杂形成发射极l发射极方块电阻由反应炉管内的温度与气体浓度决定l硅片由于磷掺杂（有时用硼）现在形成了一个二极管结构，这是光伏电池制作的基础。工艺结果扩散工艺介绍作业步骤1.开始正常生产2.开始选定的作业项目3.结束选定的作业项目4.结束所有项目5.删除项目信息6.重新发送项目到系统作业步骤介绍----正常生产1，激活石英舟，验证舟的ID，类型，状态和承载位置作业步骤介绍----正常生产l2，选择炉管,石英舟位置,承载模式,舟的状态作业步骤介绍----正常生产l3，检验工艺选择及信息概要作业步骤介绍----特定生产1，激活石英舟并定义硅片承载模式作业步骤介绍----特定生产l2，检验石英舟ID，类型，承载位置及状态作业步骤介绍----特定生产3，工艺选择及信息概要作业步骤介绍----结束特定作业1，勾选‘setboattoinactiveafterunloading’作业步骤介绍----结束特定作业2，点击卸片按钮作业步骤介绍----删除作业信息选择‘deleteloadinformationofthisboat’作业步骤介绍----重新开始项目解决好J&R操作错误后的步骤1.确认J&R与CMI上的错误信息，2.删除失败的作业项目，3.手动把舟移动到存储架2-6上，4.重新加载作业信息，别忘了设置舟当前的位置，5.重新开始自动运行，6.如果有其他作业项目即将结束，CMI会先完成，然后再重新开始原来重新加载的项目。l记录分析及工艺编辑l使用软件‘Protgraf’and‘CCC-RM’进行。l“Protgraf”的介绍?参数及数据由记录中输入；?分析图形、曲线数据l“CCC-RM”的介绍?用于编辑工艺l记录分析lProtgraf是最简单的检查、分析记录的方法l记录分析l用Protgraf开始进行记录分析记录分析选择需要列表输出或者图形显示的项目记录分析typicalscreencontentofprotocoltextwindow记录分析正文窗口–重要事件记录分析所选项目的列表显示发生了什么?–事件显示记录分析记录分析图形显示-全部记录分析图形显示–放大工艺编辑启动软件‘CCC-RM’工艺编辑工艺组织、传送工艺编辑工艺版本管理工艺编辑工艺编写的输入输出用‘GnuEdit’软件进行工艺编写工艺编辑工艺编辑保存所有数据、备份工艺编辑工艺编辑1.打开工艺版本管理界面2.在机台POCL1-1上检查所需工艺3.进入机台POCL1-1的输入/输出窗口4.输出工艺5.编写工艺（用“edit”按钮启动GnuEdit软件)6.保存并退出GnuEdit软件7.输入工艺:正确的工艺输入会显示错误及警告信息，如果有的话8.成功输入工艺后返回工艺版本管理界面9.重新记录工艺，更改后的工艺会被传送到其他炉管工艺编辑编写新工艺或复制工艺的程序1.打开工艺版本管理界面2.在机台POCL1-1上检查现有的工艺3.转到机台POCL1-1的输入/输出界面4.输出工艺5.复制工艺6.编写更改复制后的工艺(用“edit”按钮启动GnuEdit)7.保存并退出GnuEdit8.输入旧的和新的工艺:正确的工艺输入会显示错误及警告，如果有。9.成功输入后返回工艺版本管理界面10.重新登记新的（复制后的）工艺.11.解开第2步开始的工艺锁定.工艺编辑工艺组织---将工艺分配到炉管添加一个工艺到炉管（机台）1.打开工艺组织界面2.在右边的“pool”里选择我们需要的工艺3.在左边选择我们需要的机台3.