3.4影响杂质分布的其他因素图3.13硅中空位的能带图3.4影响杂质分布的其他因素3.4影响杂质分布的其他因素引自李乃平《微电子器件工艺》3.4影响杂质分布的其他因素3.4影响杂质分布的其他因素B、P的扩散系数与晶向、气氛的关系3.4影响杂质分布的其他因素npn晶体管硼和磷分布的计算结果与实测结果3.4影响杂质分布的其他因素3.4影响杂质分布的其他因素3.5扩散工艺3.5扩散工艺3.5扩散工艺3.5扩散工艺3.5扩散工艺3.5扩散工艺3.6扩散工艺的发展3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数结深的测量方法3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数3.7扩散层的质量参数