气浮垫精密研抛设备改造及其工艺研究【摘要】随着精密、超精密技术的发展日益进步,机器及检测仪器等的精度要求越来越高,对气浮垫的制造精度也提出更高的要求。目前,由于气浮垫精密加工技术的研究还不够深入,因此,研究气浮垫的精密制造技术是气浮垫领域亟须解决的课题。本课题主要对现有设备进行改造,改造研磨抛光机的加载方式,为了能够实现弹性薄板均压槽结构的气浮垫研磨抛光加工,提出一种端面气膜密封的旋转密封件以及分气站的设计方案,实现可变弹性薄板均压槽气浮垫在研磨抛光设备上自动研磨抛光。气浮垫的研磨过程对研磨质量有决定性的影响,本论文从运动学和几何学的角度出发,建立了气浮垫精密研磨的轨迹方程,并利用编写计算机程序对其仿真,分析主要工艺参数对气浮垫的表面质量的均匀性影响,对保证气浮垫研磨抛光后的表面质量有重要的意义。本课题对气浮垫精密研磨抛光的工艺基础进行研究,研磨抛光过程中易产生划痕,应力等缺陷,气浮垫的加工表面质量是这一过程的主要因素,本文从这一因素理论分析了产生缺陷的原因,在研究工艺理论的基础上,实验过程通过改变研磨抛光的主要工艺参数(研磨盘转速、研抛压力、磨粒种类、磨粒粒径、研磨液浓度、以及研磨盘的材质)进行表面加工质量参数的影响度试验,...更多还原【Abstract】Withthedevelopmentofprecisionandultra-precisetechnology,theaccuracyofthemachineryandthedetectinginstrumentbecomehigher,theproductionaccuracyofcushionneededalsomorehigher.Atpresent,theresearchaboutthecushionprecisionfinishingtechnologyisnotenough.Sohowtoenhancetheaccuracyitisoneofneedingtoresolveproblemoftheresearchareaofthefloatationcushion.Thepapermainlyimprovedexistingequipment,improvedloadingmodeofpolisherlapper,inorde...更多还原【关键词】HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=%e6%b0%94%e6%b5%ae%e5%9e%ab"\t"_blank"气浮垫；HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=%e7%b2%be%e5%af%86%e5%8a%a0%e5%b7%a5"\t"_blank"精密加工；HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=%e7%a0%94%e7%a3%a8"\t"_blank"研磨；HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=%e6%8a%9b%e5%85%89"\t"_blank"抛光；HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=%e8%a1%a8%e9%9d%a2%e8%b4%a8%e9%87%8f"\t"_blank"表面质量；【Keywords】HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms/detail/%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20search.aspx?dbcode=CMFD&sfield=kw&skey=floatation+cushion"\t"_blank"floatationcushion；HYPERLINK"http://www.cnki.net/kcms