60GHz无线接收机中宽带可变增益放大器的设计中期报告本文介绍了一个60GHz无线接收机中宽带可变增益放大器的设计。该设计的目的是实现一个具有高度可调节增益和高带宽的放大器，以便能够在不同条件下优化接收机性能。该设计采用射频单元（RF）前端制备流程和硅基（Si）器件，以降低成本和提高制备可靠性。本文主要介绍了可变增益放大器的设计、工艺流程和性能分析。设计：该可变增益放大器由两级微带线放大器和变压器对连接的共振器构成。变压器对由矩形分接器构成，每个分接器由两个微带线和一段共振器连接而成。这种构架充分利用了微带线和变压器对的互相耦合，从而实现了较高的增益和带宽。可通过控制分接器的不同状态来实现不同的增益值。工艺流程：该设计采用了基于硅基（Si）的射频单元（RF）前端制备流程，通过金属蒸发和光刻技术在1.2米的硅衬底上制备。工艺流程包含以下步骤：1.定义微带线和分接器的位置和形状。2.通过光刻技术在硅衬底上定义微带线和分接器。3.通过蒸发镀金工艺制备金属层，并去除非所需区域的金属。4.对金属层进行电学测试以确定器件性能。性能分析：该可变增益放大器的设计具有高增益和宽带宽，增益范围可以在1-20dB之间调节。该设计的中心频率为60GHz，带宽高达6GHz，具有非常高的性能。通过电学测试，该可变增益放大器的S参数和增益都相当符合设计要求。总结：本文介绍了一个60GHz无线接收机中宽带可变增益放大器的设计。该设计采用了射频单元（RF）前端制备流程和硅基（Si）器件，具有高性价比和制备可靠性。该可变增益放大器的性能非常好，非常适合用于高频率的无线通信应用。