PVD玫瑰金工艺总结1.pdf
上传人:书生****12 上传时间:2024-09-11 格式:PDF 页数:1 大小:31KB 金币:10 举报 版权申诉
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玫瑰金测试时长压力Ar偏压(直流)偏流N2C2H2KWVA9002.99260805.1————8.546818.412002.86260805.250—72——8.5480182样品二工艺:15002.83260805.294——8.548917.7球头4pcs18002.86260805116——8.549617.321002.88260804.8140——8.550417.127002.88260504.6140——8.550117.2120014030实际调试1:2:标准4:3:140/25140/20标准143/18148/1559.3162.1760.7863.5866.527.499.68.911.4813.154.316.818.4910.0317.17值玫瑰金Lab走向图数7060N2/C2H25040ab30L20100140/25140/20标准143/18148/15