GaN基NiAu肖特基接触特性研究的任务书任务：研究GaN基NiAu肖特基接触特性研究目的：探究GaN基NiAu肖特基接触的电学性质，为其在高功率电子器件中的应用提供基础研究支持。研究内容：1.制备GaN基NiAu肖特基接触样品。2.研究NiAu肖特基接触在不同温度下的电学特性，包括电阻、电容、电子亥姆霍兹能等参数。3.测量GaN基NiAu肖特基接触的I-V曲线特性，分析其整流和反向漏电流特性。4.对比分析GaN基NiAu肖特基接触样品在不同表面条件下的电学特性，包括原子层沉积和化学分子修饰等处理方法。5.探究GaN基NiAu肖特基接触的界面能量和界面内部空间电子结构，为接触电学性质提供理论支持。6.分析氮化镓材料中的缺陷与杂质等物理性质对接触特性的影响。7.探究GaN基NiAu肖特基接触在高温高功率应用中的可靠性和稳定性。研究方法：激光抛光、C-V测试、I-V测试、X射线光电子能谱分析等实验方法。预期成果：掌握GaN基NiAu肖特基接触的电学性质和界面特性，为其在高功率电子器件中的应用提供技术支持，发表学术论文1-2篇。