長興干膜教育訓練課程【課程大綱】1.乾膜光阻製程1.1.銅面前處理製程1.1.1.外觀檢查1.1.2.酸洗1.1.3.銅面處理1.1.4.水洗1.1.5.吸乾吹乾、烘乾1.2.壓膜製程1.2.1.壓膜前清潔1.2.2.壓膜1.2.3.壓膜後清潔1.3.曝光製程1.3.1.曝光前底片檢查、清潔1.3.2.曝光1.3.3.曝光後靜置1.4.顯影製程2.無塵室管理2.1.何謂無塵室2.2.無塵室等級區分2.3.無塵室人員及物品進出之管理與清潔2.3.1.人員及物品進出2.3.2.無塵室清潔2.4.無塵室人員穿著3.設備參數3.1.刷磨機3.2.壓膜機3.3.曝光機3.4.顯影機4.乾膜製程缺點預防及改善方法4.1.刷磨製程4.2.壓膜製程4.3.曝光製程4.4.顯影製程5.乾膜各製程機台保養程序5.1.刷磨機5.2.壓膜機5.3.曝光機5.4.顯影機【1.乾膜光阻製程】早在1950年代左右乾膜使用於印刷工業上取代非感光性溼膜阻劑之塗佈作為影像轉移。到了1968年美國杜邦公司首度發展出應用於電子工業的感光性聚合物乾性移像膜，PCB製造也開始步入另一個里程碑。而杜邦公司的專利權到1984年結束後，陸續有多家世界級的公司也發展出自有品牌加入商場競爭。例：Morton、Eternal…等。乾膜依其機轉作用可分為正片工作膜(PositiveWorkFilmorPositiveImage)及負片工作膜(NegativeWorkFilmorNegativeImage)兩種感光阻劑層為附著於銅面上之主體，下列針對其結構作一介紹：*連結劑(Binder)例：Polyacrylate、PolyurehanesPolystyrene、PolycarbonatesCopolyester、Epoxy主要為含酸基的線型熱可塑性高分子，目的在使乾膜組成具成膜性，並提供酸基供乾膜顯像及剝膜時與鹼液作用。其應注意要項如下：a.玻璃軟化程度(Tg)、壓膜時膠在銅面上流動性、填孔隙能力、儲存時流膠程度。B.分子量-乾膜蓋孔性(Tenting)能力。C.酸價-顯像和剝膜速度及耐鹼能力。d.溶劑-毒性、生產時烘乾操作條件。*光反應單體(Photomonomer)例：單官能基(Monofunctional)BA、EA雙官能基(Difunctional)HDDA、TPGDA、PEGDA多官能基(Multifunctional)TMPTA、PETA、DTMPTA含未飽和雙鍵的單體或寡聚體(Oligomer)，目的在使曝光時進行自由基鏈聚合反應(ChainReaction)。其注意要項如下：a.黏度-可與連結劑共同調整乾膜至適當黏度，而得到良好貼膜性且避免流膠。b.毒性-沸點高、揮發性低、對皮膚刺激性低。c.反應性-自由基鏈聚合反應速率越快越佳。d.互溶性-與其他元素組成互溶性需佳。*光起始劑(Photoinitiator)例：Benzoin、Benzophenone、Irgacure907、Irgacure651、Irgacure369、ITX、CTX、DETX起始劑吸收UV光後形成自由基型態，目的在提供光反應單體聚合所需的自由基。通常會含有數種起始劑以便吸收不同波長的UV光。其注意要點如下：a.反應性-在越低曝光能量下仍有高濃度自由基生成。b.熱安定性-儲存、生產壓膜時不可有自由基生成。*可塑劑(Plasticizer)例：PlthalicEsters、GlycolEstersPhosphoricEsters可塑劑可增加壓膜時乾膜的流動性、增加填孔隙能力，促進乾膜與銅面的密著度。其注意要點如下：a.相容性-須與其他組成混合呈均勻狀態。*染料(Dye)例：AcidGreen、EthylViolet、MethylGreen、MehtylViolet染料可使乾膜本身具有顏色以便於辨識，一般以藍色或綠色為主。其注意要點如下：a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操作。*變色劑(ColorChangingAgent)例：LeucoCrystalViolet、DiphenylamineTriphenylaniline、Dibenzylaniline變色劑可促使乾膜在曝UV光時由無色變為有色，以利作業員辨識。其注意要點如下：a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操作。c.發色率-變色要深，一般為藍色。*安定劑(Stabilizer)例：Hydroquinone、Nitrobenzene、P-toluquinone、CuprousChloride安定劑主要防止乾膜熱壓時而產生聚合。它也可延長乾膜儲存期限。其注意要點如下：a.安定性-不可妨礙乾膜其他元素之進行。b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操作