超声波电机专题知识讲座1超声波电动机的基本原理超声波电动机(UltrasonicMotor，简称USM)是近年来发展起来的一种全新概念的驱动装置，它利用压电材料的逆压电效应(即电致伸缩效应)，把电能转换为弹性体的超声振动，并通过摩擦传动的方式转换成运动体的回转或直线运动。这种新型电机一般工作于20kHz以上的频率，故称为超声波电动机。1.1超声波电动机的结构上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页上一页2.实用化阶段(20世纪70年代末——80年代末)1978年，前苏联的Vasiliev成功地构造了一种能够驱动较大负载的压电超声波电动机，这种电机使用由位于两个金属块之间的压电元件所组成的超声换能器，将该换能器激起与转子接触的振动片纵向振动，通过振动片与转子间的摩擦来驱动转子转动。这种结构的优点在于不仅能降低共振频率，而且能放大振幅，遗憾的是，这种电机在运转时由于温度的升高、摩擦及磨损等原因，很难保持振动片的恒幅振动。日本的T.Sashida在Vasiliev的研究基础上，于1980年提出并成功地制造了一种驻波型超声波电动机。该电机使用Langevin激振器，驱动频率为27.8kHz，电输入功率为90W，机械输出功率为50W，输出扭矩为0.25Nm，首次达到了能够满足实际应用的要求，但由于振动片与转子的接触是固定在一个位置上，仍存在着接触表面上摩擦和磨损等问题。1982年，Sashida又提出并制造了另一台超声波电动机——行波型超声波电动机，从原来的由驻波定点、定期推动转子变换成由行波连续不断地推动转子，大大地降低了定子与转子接触面上的摩擦和磨损。这种电机能够运转的实质就是定子表面的质点形成了椭圆运动。之后，在日本掀起了利用各种振动模态的研究热潮，如利用纵向、弯曲、扭转等振动来获得椭圆运动。这种电机的研究成功，为超声波电动机走向实用阶段奠定了基础。1987年，行波超声波电动机终于达到了商业应用水平。此后许多超声波电动机新产品不断地研制出来并推向市场。到20世纪80年代中期日本已形成三个系列的超声波电动机：即日立马克赛尔公司的驻波扭转耦合器系列、松下电器公司的行波系列和新生公司的弯曲波模态系列。除日本外，ElectroMechanicalSystems公司也推出了英国第一个商用超声波电动机系列产品——USR30。3.深层次研究(20世纪90年代——)在20世纪80年代，国外的研究工作主要集中在研究新的驱动机理、构造新的结构形式、开发新型电机等方面，着重于动力传输的实现，尚未能顾及到性能的改善。由于对超声波电动机的基础理论研究得不够透彻，没有形成完整的设计理论，使超声波电动机的研究带有一定程度的盲目性。直到90年代后，超声波电动机的建模、性能预测等理论问题才开始引起关注，但至今尚无系统的论述。目前，世界各国对超声波电动机的研究极为活跃，超声波电动机的研究趋向多元化。例如，美国利用其先进的材料和IC工艺研制出的微型超声波电动机，其尺寸仅有数百微米(250m500m2m)，驱动电压的典型值是5V，最低为1.5V，转速为150r/min。而大型超声波电动机的扭矩达400Nm。3超声波电动机的优点及其应用4)无电磁干扰:超声波电动机没有磁极，因此不受电磁感应影响。同时，它对外界也不产生电磁干扰，特别适合强磁场下的工作环境。在对EMI(电磁干扰)要求严格的环境下，采用超声波电机也很合适。(5)停止时具有保持力矩:超声波电动机的转子和定子总是紧密接触，切断电源后，由于静摩擦力的作用，不采用刹车装置仍有很大保持力矩，尤其适合宇航工业中失重环境下的运行。(6)形式灵活，设计自由度大:超声波电动机驱动力发生部分的结构可以根据需要灵活设计。由于超声波电动机具有电磁电机所不具备的许多特点，尽管它的发明与发展仅有20多年的历史，但在宇航、机器人、汽车、精密定位、医疗器械、微型机械等领域已得到成功的应用。日本Canon公司将超声波电机用于其EOS620/650自动聚焦单镜头反射式照相机中；欧洲将超声波电机用于实验平台及微动设备，如1986年获Nobel物理学奖的扫描隧道显微镜(STM)；美国在宇宙飞船、火星探测器、导弹、核弹头等航空航天工程中也都陆续应用了超声波电动机。上一页上一页NASA将超声电机用于空间机器人技术CoddarSpaceFlightCenter将超声电机应用于空间机器人技术。其中微型机器手MicroArmI使用了具有力矩0.05Nm的超声电机。火星机器手MarsArmII使用了3个具有力矩为0.68Nm和一个具有0.11Nm的超声电机美国Vanderbilt大学将超声电机应用于微型飞行器4超声波电动机的常见结构与分类上一页日立Maxell公司的改进型驻波超声波电动机，采用机械