摘要模擬結果顯示，ㄧ層的抗反射膜設計為Air|0.2828L|矽基板，全區域平均反射率值8.01%二層的抗反射膜設計為Air|0.2475L0.2273H|矽基板，全區域平均反射率值4.595%三層抗反射膜設計，則有簡併為雙層抗反射膜設計的現象。1.簡介近年來太陽電池抗反射膜優化設計已逐漸被發展。模擬雙層抗反射膜(TiO2/SiO2)。針對設計波長420nm，掃描300~900nm波長。模擬結果反射率都在10%以下。2.模擬步驟F(θi，n，d，λ)=ΣR尋找全區域平均反射率值最低的方式，即得最佳的抗反射膜設計。Θi：入射角，n：折射率，d：幾何膜厚，λ：波長，R：反射率在測試單層及多層抗反射膜之前，假設所有抗反射膜滿足下列各狀況：1.入射角θi=0。2.光譜範圍0.38～1.2μm，並區分成100個搜尋波段。3.各膜層不考慮色散與吸收，折射率固定，其中空氣n0=1，矽基板ns=3.4，低折射率材料SiO(1.8)，高折射率材料TiO2(2.35)。4.設計波長λ0=0.6μm。5.光學厚度nd為唯一的設計變數，其搜尋範圍從0λ0到0.5λ0。3.結果與討論圖一單層抗反射膜優化設計圖二單層抗反射膜優化設計的角移效應雙層抗反射膜優化設計。以SiO(1.8)/TiO2(2.35)為材料。由模擬結果可知，最佳的光學薄膜厚度為0.2475λ0/0.2273λ0。Air|0.2475L0.2273H|矽基板，全區域平均反射率值4.595%圖四所顯示的角度有0度、30度、60度，對應的平均反射率依序為4.595%、6.438%、19.142%。三層抗反射膜設計，則有簡併為雙層抗反射膜設計的現象。圖三雙層抗反射膜優化設計圖四雙層抗反射膜優化設計的角移效應4.結論雖然現在只針對可見光波段與近紅外光區0.38～1.2μm波段做設計，但日後模擬會延伸至紫外光，甚至包含10μm附近遠紅外光區，所謂雙波段區域抗反射膜設計，因此，選用材料以能涵蓋太陽光譜者為優先考慮。單層及雙層抗反射膜優化設計的角移效應顯示，入射角度越高，則平均反射率越高。但日後我們會設計到不管入射角多大，平均反射率還是會降的很低。205.REFERENCES[1]鄭竣謙，《雙層抗反射膜覆蓋三接面三一五族太陽電池之研究》,中原大學，碩士論文[2]林松荺，《抗反射膜於矽基薄膜太陽能電池之光學性質研究》，崑山科技大學[3]葉致仰，《寬波段廣角度抗反射膜設計之研究》，國立台灣大學電機資訊學院光電系工程研究所，碩士論文[4]Sung-MokJungb,Young-HwanKim,Seong-IlKim,Sang-ImYoo,《Designandfabricationofmulti-layerantireflectioncoatingforIII-Vsolarcell》,CurrentAppliedPhysics,vol.1,pp.538-541,2011.[5]李正中，《薄膜光學與鍍膜技術》，(藝軒圖書)[6]葉倍宏，《薄膜光學-電腦輔助模擬與設計》Thankyouforyourattention.25