COMSOLCOMSOLMultiphysicsMultiphysics微系微系统统模模块块中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cnMEMS模块COMSOLMultiphysics中的功能模块一套用于模拟MEMS器件、微流系统和MEMS中出现的各种物理现象MEMS建模实例与COMSOL其它产品无缝结合–COMSOLMultiphysics和其它功能模块–材料库–COMSOLScript(包括信号处理SignalsandSystemsLab、优化工具OptimizationLab)–反应工程实验室ReactionEngineeringLab–CAD导入模块中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cn什么是MEMSMEMS简称–Micro:微小尺度–Electro:电、磁现象–Mechanical:移动或变形–Systems:一个整体COMSOLMultiphysics中的MEMS–微尺度器件和影响它行为的各种物理现象–结构力学–压电效应–静电场–微流体和电动效应以及化学反应MEMS的自然属性决定了它内在本质就是多物理场中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cnMEMS模块应用领域传感器执行器、共鸣器压电压阻器件微流传输问题微流器件中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cnMEMS模块应用领域单物理场问题……多物理场问题结构力学电-结构电场热-结构集成SPICE电-热-结构压电效应电-热热效应流体-固体层流流体-热传输现象电动两相流流体-化学反应…中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cnMEMS模块应用模式中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cn结构力学连续结构体–无假设–直接应用应力应变于材料上–3D、平面应力、平面应变、轴对称材料模型–各向同性、正交各向异性、各向异性、弹塑性–超弹性、近似不可压缩性独立坐标系统定义材料方向热膨胀作为载荷初始应力应变大变形(几何非线性)，加工硬化效应中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cn结构力学分析类型–静态、频率响应、瞬态、特征频率、阻尼特征频率、参数分析….–分析类型随意切换–接触与摩擦分析随动载荷完美匹配层(PMLs)结构阻尼薄膜阻尼–狭缝流动（挤压与侧滑）效应–瞬态分析与频率响应分析中仿科技---专业信息化软件及技术咨询公司www.CnTech.com.cnCnTechCo.,Ltd---LeadingEngineeringVirtualPrototypingSolutionsProviderinfo@cntech.com.cn压电效应全耦合压电方程–正反压电效应–应力-电荷和应变电荷模式线性压电和大变形用于处理几何非线性分析类型–静态、瞬态、频率响应、特征频率、阻尼特征频率结构阻尼、滞后