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塗佈光阻劑PhotoresistCoating清洗Clean清洗Clean清洗Clean清洗Clean清洗Clean導電玻璃材料就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在生產過程中,每片玻璃都必經過万用電表檢測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為背面.一、ITO玻璃的結构,如圖1°二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格ITO玻璃的技術要求光刻膠性能的主要指標.感光度.光刻膠對光敏感的性能.所以說,對于固定光強的曝光机,光刻膠的感光度越高,則曝光時間越短,反之,則差.分辯率.光刻精度的標志.它不僅与光刻膠本身有關.還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關.抗蝕性只是在針孔密度小,粘附性能良好的情況下,才能有較強的抗酸.鹼能力.接上穩定性–光刻膠在常溫和暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反應.針孔–視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低,它將直接影響光膠質量.粘度和含固率–光刻膠越濃,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我們常采用改變光膠濃度調節粘度,控制膜厚度.例中:光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠.溫度高.固含率低.粘度變小,膜薄,反之則厚.光刻膠的分類接上主要不良影響:主要不良影響:主要不良影響:主要不良影響:共同進步