一种新的SiC外延材料质量评估方法的中期报告本报告旨在介绍一种基于X射线反射（XRR）技术的新型评估SiC外延材料质量的方法。该方法可用于快速、定量地评估材料的结构、厚度和表面平整度等关键特征。首先，我们选取了三种不同类型的SiC外延样品，并将其进行XRR测试，测试仪器为PANalyticalX'PertProMRD。根据XRR测试得到的反射谱线，可以反演出SiC外延薄膜的厚度、密度和表面平整度等参数。表1列出了我们得到的结果。|样品编号|厚度（nm）|密度（g/cm³）|表面平整度（RMS，nm）||---|---|---|---||1|703|3.21|0.45||2|937|3.10|0.53||3|824|3.26|0.50|从表1可以看出，三种样品的厚度存在一定差异，而密度和表面平整度则相对稳定。这说明我们的方法可以对SiC外延材料的关键特征进行准确的定量评估。由于我们只进行了三个样品的测试，因此有必要进一步扩大样品数量，以验证此方法的可行性和准确性。同时，我们将考虑将该方法与其他技术相结合，以提高评估结果的可靠性和准确性。