光学薄膜制备工艺成膜工艺光学真空镀膜机真空系统镀膜机真空系统泵名机械泵原理图扩散泵示意图注意事项：1．不能在泵内气压高于1帕时加热扩散泵；已工作的扩散泵停止加热后，应继续用机械泵抽空，直至冷却，否则泵油易氧化变质。2．由于冷却不可能绝对完善，总有一些油分子未被冷凝而升向泵顶，进入待抽容器，这种现象叫"返油"。为减少其效果，在扩散泵顶部一般都装有水冷挡油板，它应当档去尽量多的油蒸汽而对抽气速率的影响尽量小。3．若泵油的温度不够高，则不仅抽速慢，而且因油蒸汽喷出的速度不够快而会在到达泵壁前就因碰撞而升向泵顶，造成严重的返油现象。所以，扩散泵的加热时间不能太短，一般约需40分钟左右。真空测量蒸发系统：热蒸发溅射离子镀离子辅助蒸发钟罩镀膜机示意图热蒸发溅射技术高频溅射又称射频溅射——为溅射介质材料而设计磁控溅射——提高离化率、溅射速率，降低基片温度离子镀技术电子束蒸发电子枪示意图APS1104APS1104真空室内情况镜片悬挂机构改进蒸发工艺、改善膜层的微观结构离子体增强的离子辅助技术光学膜厚监控系统石英晶体法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的两个效应，即压电效应和质量负荷效应。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切切割类型而且还取决于晶片的厚度。当品片上镀了某种膜层，使品片的厚度增大，则品片的固有频率会相应的衰减。石英晶体的这个效应是质量负荷效应。石英晶体膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的量进行膜厚测量的辅助系统