光刻技术的发展与应用.ppt
上传人:天马****23 上传时间:2024-09-11 格式:PPT 页数:20 大小:1.4MB 金币:10 举报 版权申诉
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光刻技术的发展史光刻技术的发展史光刻的原理与评价指标光刻的基本概念硅片制造工艺流程光刻胶的三维图形光刻工艺的8个基本步骤光刻的8个步骤步骤1:气相成底膜处理步骤2:旋转涂胶旋转涂胶步骤3:烘焙步骤4:对准和曝光对准和曝光步骤5:曝光后烘焙步骤6:显影光刻胶显影步骤7:坚膜烘焙步骤8:显影后检查