SilvacoTCAD工艺仿真模块及工艺仿真流程.pptx
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会计学Page2Page31.1工艺仿真模块1.1.1ATHENA1.1.2SSuprem41.1.3MC蒙特卡洛注入仿真器1.1.4硅化物模块的功能1.1.5精英淀积和刻蚀仿真器1.1.6光刻仿真器1.2可仿真的工艺1.3ATHENA输入和输出Page132工艺仿真流程2.1.1网格定义的命令及参数2.1.2网格定义的例子2.1.3网格定义需要注意的地方2.2.1初始化的命令及参数2.2.2初始化的例句2.2.3初始化的例子2.2.4网格释放2.3工艺步骤2.3.1氧化的命令及参数2.3.2Diffuse做氧化的例子2.4提取特性2.4.1自动生成提取语句2.4.2提取氧化层厚度的例子2.5结构操作的命令及参数2.6Tonyplot显示Page303总结Page32

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