2024/10/6信息化技术发展方向——微小型化集成化智能化绿色化薄膜科学与技术是现代信息技术发展的重要基础，是当前最富活力、最具创新潜力的科学技术领域之一2024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/6微细加工技术包括离子刻蚀、反应离子刻蚀、离子注入和离子束混合改性等在内的技术以及薄膜沉积过程监测控制、薄膜检测、薄膜应用在内的，内容十分丰富的薄膜技术，并正逐渐成为一门高新技术产业。从发展趋势看，薄膜技术在近期内将有较大的突破，必将带来更大的发展。2024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/62024/10/6