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主要内容一激光束流强度与轨迹控制激光束加工装置原理图由于激光束流是以斑点形式照射在工件上,因此,加工工艺的质量与束斑的强度(功率)、形状及轨迹相关。激光束扫描轨迹控制方法示意二电子束流强度与轨迹控制电子束的动能及其斑点轨迹控制斑点轨迹,前面所述的激光可以由光学透镜及折射镜完成。本节介绍的电子束,却需靠静电场(透镜),磁场(透镜)及偏转电磁场的作用。对偏转线圈(X,Y扫描)的控制三离子束的控制三束的强度控制四束流加工中的工件位移控制直线电机五束斑与工件间介质的控制流体压力、流量及质量控制两维移动机构