深度剖析方法深度分布信息分析8.1、角分辨深度剖析(d~)角分辨XPS膜厚度测量-ARXPS膜厚测量SiO2/SiC1s分析深度随电子动能的变化8.2、离子溅射深度剖析（d>>）（1）离子刻蚀速率离子刻蚀速率一些普通材料对3kV氩离子的刻蚀速率表深度剖析实验由交替地分析跟着周期性刻蚀然后再分析构成。可观测到浓度或化学态随深度的变化。离子蚀刻深度剖析深度信息（3）深度剖析实例【例】多层膜Ni/Cr/CrO/Ni/Cr/Si的XPS深度剖析DepthProfilewithSampleRotation（4）深度剖析的影响因素(5)离子束溅射深度分析总结8.3、磨角的深度剖析8.4、面分布状态信息2D分布状态信息O1s思考题