【教学内容】●检定前的准备工作●传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定●传感器触针静测力及其变化率的检定●传感器导头压力的检定●传感器导头工作面粗糙度的检定●传感器导头圆弧半径的检定检定前的准备：校准触针式仪器的室内温度应在(20±3)0C范围内，湿度不超过65％。校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪声、气流、腐蚀性气体和较强磁场。被校仪器及校准用测量设备在室内连续平衡温度的时间不少于4h。校准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30min。2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定【检定方法】将触针针尖轻轻地压在电子天平上（对于导头式仪器，导头应悬空），通过立柱的升降手轮调整传感器的高低位置，使传感器触针位移显示指向零位。读出天平的示值，再乘以重力加速度g，即为触针静态测量力。电子天平3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定【检定方法】检定触针静态测量力变化率时，选用仪器最大量程，调整传感器的高低位置，当针尖在上下两个极限位置时，如图所示浮标在触针位移指示窗口+10um处为上极限位置，浮标在触针位移指示窗口-10um处为下极限位置，分别读出电子天平的示值。计算两示值与重力加速度乘积，即得上下两极限位置静态测量力。通过静态测量力计算出静态测量力的变化率。3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定【要求】表面粗糙度测量仪传感器导头压力范围：0.15N-0.3N。【检定方法】将传感器导头压在测力装置上，并使传感器处于水平位置。读出电子天平的示值，再乘以重力加速度g，即为导头压力。4.表面粗糙度测量仪传感器导头压力的检定【要求】表面粗糙度测量仪传感器导头工作面不应有波纹、划痕、毛刺等疵病，其粗糙度Rz不超过0.1um。【检定方法】传感器导头工作面粗糙度用干涉显微镜进行检定，外观用20倍放大镜观察。【注意】干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度的一种仪器。被测表面有一定的粗糙度就呈现出凹凸不平的峰谷状干涉条纹的数目和峰谷的弯曲程度，即可计算出表面粗糙度的Ra值。必要时还可将干涉条纹的峰谷拍照下来评定。干涉法适用于精密加工的表面粗糙度测量。适合在计量室使用，测量范围一般为Rz0.032~0.8um。