2.1DMD的结构特点2.2基于DMD的紫外高速数字光刻设备的特点目前的诸如PCB板的加工基本使用掩膜曝光设备。其价格低，但需加工掩膜版。掩模板制作复杂、周期长、费用昂贵，一旦完成无法修改，这些缺陷已经严重限制了高端个性化PCB板的加工制作。数字印刷行业也面临同样转型升级状态，急需无掩膜光刻设备来对其进行更新换代。而单点激光直写无掩膜设备效率低下，不适合该行业需求。DMD无掩膜光刻设备成为PCB板、数字印刷行业发展的必然选择。（工业）三维立体光刻（实验室）生物芯片制造生物3D打印高速信号和电源完整性的PCB仿真；形成灰度滚动数据处理很存储方式，利用扫描曝光方式提高设备工作效率。利用部分数据预制模版来进一步平衡照明的不均匀性。利用畸变补偿方法，对数据预制处理，以抵消镜头畸变的影响，降低对镜头的质量的要求。核心技术4自动调焦DMD驱动方面：滚动灰度光刻的DMD动作方法许家林孙强发明专利201410508288.3授权照明方面:刘华;卢振武;实现半导体激光光束匀化的微光学元件中国发明专利CN201110272797（2013.04.17授权公告日）授权数字处理方面:一种用于数字光刻系统的光强不均匀性测量与校正方法刘华;卢振武（已提交）系统装调方面:DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法刘华谭向全党博石发明专利201510263495用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板刘华谭向全党博石卢振武发明专利201510316684.0发表论文：Xiao-DuoWangHuaLiu*、Zhen-WuLuLi-WeiSongTai-shengWangBo-ShiDangXiang-QianQuanYun-PengLiDesignofaspectrum-foldedHadamardtransformspectrometerinnear-infraredbandOpt.Commu.333.80-83(2014)ZhengXiongHuaLiu*XiangquanTanZhenwuLuCuixiaLiLiweiSongZhiWangDiffractionanalysisofdigitalmicromirrordeviceinmasklessphotolithographysystemJ.Micro/Nanolith.MEMSMOEMS13(4),043016(Oct–Dec2014)XiangqianQuan,HuaLiu*,ZhenwuLu,XiangziChen,XiaoduoWang,JialinXuandQunGao.“CorrectionandanalysisofnoiseinHadamardtransformspectrometerwithdigitalmicro-mirrordeviceanddoublesub-gratings”[J]OpticsCommunications,Issue.359(2016).XiangqianQuan,HuaLiu*,ZhenwuLu,YongqianQuan,XiaoduoWang,HetuoChen,andHeyangBu.“Designofstraylightsuppresseddigitalmicromirrordevice-basedspectrometerwithcompoundparabolicconcentrato”[J]OpticalEngineering,Vol.54,Issue.11(2015).XiaoduoWangHuaLiuLarissaJuschkinYunpengLiJialinXuXiFreeformlenscollimatingspectrum-foldedHadamardtransformnear-infraredspectrometerOpt.Commu.380161-167(2016)刘华，卢振武，熊峥、王尧、王鹤、黄剑波、谭向全孙强绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统光学精密工程22（7）1814-1819（2014）在国家重大专项项目的支持下，进行了大量的DMD光刻基础实验，研制了原理样机，验证了原理和技术方案的可行性。确立了光刻机的总体方案，采用DMD数字微镜为图形发生器，形成动态掩模并进行曝光。内部光刻头的结构光刻软件操作控制界面部分光刻结果各种形状的二维图形光刻结果10um线宽的光栅光刻结果5um和1um线宽的光栅光刻结果生物3D打印就是能够在数字三维模型驱动下，按照增材制造原理定位装配生物材料（如医用高分子材料、无机材料、水凝胶材料）或活细胞单元，制造医疗器械、组织工程支架和组织器官等制品。这一技术概念最早是由美国Clemsonuniversity、Unive