激光偏振干涉仪.ppt
上传人:天马****23 上传时间:2024-09-11 格式:PPT 页数:23 大小:363KB 金币:10 举报 版权申诉
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XXX为实现相位细分,光路中设置Q3提高位移测量精度,必须提高测量相位的分辨率。sin2)光学倍程法3)分步调相位法4)锁相跟踪法5)A/D变换细分法6)旋转波片细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法7)概率统计细分法