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等离子体的一般描述低温等离子体的性质低温等离子的平衡方程及主要模型局部热力学平衡等离子体光谱例:不同气压下的汞放电的光谱用发射光谱测量电子温度用朗谬尔探针测量电子温度气体放电的全伏安特性曲线低温等离子体在光源中的应用电磁感应耦合等离子体(二)金属卤化物放电灯(热等离子体)几种金卤灯的发射光谱等离子体表面处理(2)等离子体溅射镀膜谢谢!