-----在英语词典里“驱动器”定义为Actuator:onethatactuates,specif:anyofvariouselectrichydraulic,orneumaticmechanismbymeansofwhichsomethingismovedorcontrolledindirectlyinsteadofbyhand(asamotorthatturnsofalargeshipormovestheelevatorsofanairplaneoranairbrakecylinderoperatedbyamotorman)动词“驱动”是Actuatevt1:toputintomechanicalaction<mostofhydraulicallyoperateditemsofequipmentareactuatedbypistonsandcylinders>可见，所谓驱动指的是对任何物体产生机械动作。所谓驱动器指的是能产生驱动动作的器件或装置，即不是人类的手，而是间接动作或控制机器的电气、气体、液体的机构。微驱动器(MicroActuator)又称微致动器和微执行器，是能够产生和执行动作的一类微机械部件或机器的总称。而侠义的说，指的是能将电能装换成特定形式的机械能的微装置。------微驱动器的驱动原理驱动功能的实现可以基于各种不同的物理原理。例如，利用静电力的驱动，利用反压电效应的驱动、利用磁致伸缩、形状记忆合金等。------微驱动器装置分类从装置类型来看分为微转动马达、微直线运动马达、微夹持器、微泵、微阀门等；从物理性质来看微驱动器可以分为静电、压电、电磁、磁致伸缩、热、光电、气动、生物、超导和记忆合金等。------研究微驱动器的必要性传统的手表及其它许多精密制造业虽然能够将机械零部件微型化到相当小的程度，但是多数传统加工方法已经达到极限，所以人们才不得不求助于特殊微加工方法来制造微驱动器。微驱动器大多是毫米级的，运动件属于微米级，利用微加工(IC工艺、体硅加工和LIGA)，微驱动器制作相对容易实现。------现状与传感器一起成为MEMS和TRANDUCERS中主要的研究对象，可以参考的论文很多。热驱动器利用固体或液体尺寸随温度变化的特性的驱动元件叫做热驱动器。一个有趣的例子是Keller等人设计的热膨胀驱动的镊子(1997)，8x1.5x40um尺寸的镊子自由时是合起来的，当75mw能量输入是它可以张开35um。热驱动器分为电阻加热方式和和介电损失加热方式等。双片驱动器是利用粘在一起的二种材料的热胀系数不同来实现机械动作；而形状记忆合金（SMA）属于单片驱动器。电阻加热式的加热器通常集成在二个功能材料片之间。这种结构的特点是位移-输入能量的关系线性好。缺点包括高功率投入、低频带和较复杂的结构(相对与静电驱动)。介电损失式加热大部分电介质在射频能量作用下都会有部分能量损失并转化为热能，这一特性可以用来非直接地给双片驱动器加热。介电损失正比于所加RF电场的平方(或正比于所加RF能量)，产生的热能用下式表达返回形状记忆合金（SMA）驱动器形状记忆合金是一种特殊的合金，一旦使它记忆了任意形状，即使使它变形，当加热到某一适当温度时，则恢复变形前的形状。目前有Ni-Ti合金等十几种。微小驱动器的场合通常使用Ni-Ti合金。位移量大是SMA的第一个特点：相同形状的SMA的弯曲变化量相当于双金属片的10倍；第二个特点是变位的自由度大：形状记忆合金是单一材料，没有方向依存性，可以向任何方向变位，如做成线圈形状能扩大动作行程。SMA驱动器已经在微小管道机器人（内窥镜）中获得应用。返回压电悬臂粱驱动器压电悬臂粱驱动器是利用一层(或双层)压电材料，在电场作用下沿与电场正交方向伸长或缩短，引起的悬粱弯曲的一种驱动元件。如下图，结构上与热驱动器相近，只是功能材料是压电材料而非热变形材料。双压电驱动器的设计，要考虑到单端固支使用时的空载变位δ0,最大发生力Fb，柔量sn和共振频率fm:积层型压电驱动器∶压电材料存在变位小、驱动电压高的缺点、因此除设计成双压电型驱动元件外，还有积层型压电驱动器。与双层压电驱动器相比，积层型在变位量、发生力、能量转换率和稳定性等方面有优点。积层式压电驱动器的例子1:惯性直线位移机构压电管式驱动器，体积较大，谐振频率较低双压电驱动举例:微小STM器件微小STM器件的驱动原理SFM用压电双层驱动器微光学扫描器∶中间的微反射镜由4根压电陶瓷臂支承，可实现二维光学扫描，实验结果证明扫描角度可达14度。静电驱动器静电驱动器的基本原理是利用二块带相反电荷的极板之间的相互吸引。它在微系统中获得广泛应用，因为相对而言一个相向表面金属化的间隙微小的平板结构较易制造。在许多情况下，