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1.扫描电镜的产生MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(1906-1988)电子显微镜下的蚊子电子显微镜1、透射电镜2扫描电子显微镜2.1扫描电镜基本构造2.2扫描电子显微镜成像原理背散射电子成像原理入射电子与样品接触时,其中一部分几乎不损失能量地在样品表面被弹性散射回来,这部分电子被称为背散射电子(BackscatteredElectron)。背散射电子的产额随样品的原子序数的增大而增加,因此成像可以反映样品的元素分布,及不同相成分区域的轮廓。BESEM2.3环境扫描电镜ESEM