一压阻效应背景背景背景二DLC的压阻效应压阻特性材料DLC优势压阻机理：DLC=半导体？由于[100]方向极值降低，[010]方向和[001]方向极值升高，电子要占据低能量态，向[100]发生转移。（a）表示无应力时[100]方向和[010]的两个能谷；（b）表示[100]能谷降低了△E和[010]能谷升高了△E，引起电子转移；（c）转移结果是[100]能谷中电子增多而[010]能谷中电子数减少，导致电导率变化。DLC的电子结构DLC定域态电子DLC定域态电子[1]ThinSolidFilms,2007.515(20-21):p.8028-8033.[2]J.Micromech.Microeng.17(2007)S77–S82Ni催化类石墨结构，以及金属团聚(1)研究进展1：高TCR，高g纯碳膜研究进展1：测试方法（Si微机电加工工艺）技术手段：PECVD复合MS17研究进展3：测试方法（四点法）三DLC压阻应用探索举例应用探索Thankyou！