65纳米铜互连工艺中超厚沟槽刻蚀配方的问题与优化的开题报告尊敬的评审专家：本文的研究对象是65纳米铜互连工艺中超厚沟槽刻蚀配方的问题与优化。本研究的目的是提高沟槽刻蚀效率，减少材料残留和缺陷等问题。本文将从以下几个方面进行研究：1.问题描述：介绍65纳米铜互连工艺中超厚沟槽刻蚀中的问题，如材料残留、缺陷等。2.研究现状的回顾：介绍当前已有的研究成果，如超声波辅助刻蚀技术等。3.实验设计：设计实验来探究超厚沟槽刻蚀的优化配方、刻蚀参数等要素，研究刻蚀效果与产生的缺陷。4.实验结果：详细分析实验结果，可以在图表的形式中表现。5.问题解决与优化：在实验的基础上分析问题并提出相应解决方案，进一步得到超厚沟槽刻蚀的优化配方，评估结果。关于研究方法：1.涉及超实际的生产，使用垂直渗透型刻蚀、正胶显影工艺、电子束曝光等微电子工艺设备进行实验，须考虑设备的正确性、精度、可靠性以及它们对样品的影响2.结合SEM、EDS等方式对实验结果进行评估和分析。关于研究成果：本研究的成果可以提供给微电子行业中的企业进行优化工艺，改进和提高现有设备和工艺；也可以为超薄沟槽刻蚀研究提供新思路和理论基础。以上是本文的开题报告，请评审专家指导和关注。