干涉条纹被光电器件接收，形成脉冲信号。反射镜M3的位置量的模拟信息将载于脉冲信号。Iv=Iov+IovKIcos(2πΔ/λ)(7-34)2.莫尔条纹测位移当两快光栅接近重叠时便产生如图7-17所示的莫尔条纹。图7-17中的a－a线透光面积最大，形成条纹的亮带，在b－b线上，光线被暗条相互遮挡，形成暗带。光栅每移一个栅距，莫尔条纹移过一个间隔（即一个条纹）。因此，只要计测条纹移过的个数n，便可计算出光栅的位移量L，即L=nq(7-38)式中q=d为量化单位，表示每条纹的长度量。莫尔条纹信号通过狭逢入射到光电器件上，它输出的光电信号近似于正弦波。用两个光电器件输出的信号可以判断光栅移动的方向。两路光电信号的相位差为π/2，即一路为sinθ，另一路为cosθ。显然，这种装置只能测量角度的变化量，不能得到角度的绝对值。因此，称它为增量式编码器。光栅盘每条刻线表示角度的增量，即量化单位。当光栅转盘转过一条刻线时，莫尔条纹将变化一次，通过计算莫尔条纹的变化次数n，便可得到转轴旋转的角度θ，即θ=qn(7-39)式中q为量化单位，表示每条纹的角度量。光电器件接收莫尔条纹光信号是光栅视场刻线n的综合平均效果。因此，若每一刻线误差为时，则光电器件输出的总误差（7-41）例如，对于d=0.02mm的光栅付，用长为10mm的硅光电池接收，在视场内同时有500根线工作。若单根线的误差为±1μm，则光电池输出的平均误差仅为±0.04μm。7.3几何光学方法的光电信息变换7.3.2位移信息的光电变换7.4物理光学方法的光电信息变换这个信号消除了光频载波的影响，以干涉条纹的相位分布或光拍的时间性变化表征出被测量的变化。因此这被看作是光学解调制的过程。干涉测量的调制和解调过程可以是时间性的，也可以是空间性的。根据调制的方式不同，形成了各种类型的光学图样。这种以光波的时空相干性为基础，受被测信息调制的光波时空变换称作相干光学信息。它的形成和检测过程就是光载波受待测信息调制和已调制光波解调再现为信息的过程。根据相干光学信息的时空状态和调制方式，可以分为：局部空间的一维时间调制的光信号和在二维空间内时间或空间调制光信号。2单频光相干的条纹检测这种方法能避免干涉测量的非线性的影响，并且不需要精确的相位测量装置。但是所用跟踪系统的固有惯性限制了测量的速度，只能测量10kHz以下的位移变化。