前言因此業者或潔淨室設計師若能在建廠時期全面進行廠房最佳化設計檢討，將有助於減緩用電量之成長。本研究旨在闡述在建造一座潔淨室前，比較室內循環系統，以選擇最具節能及低成本方式系統。具體目標簡單來講就是----「降低建廠初設成本」、「節省廠房運轉成本」、「節約能源」，畢竟一個企業體在商場競爭下要維持一定的利潤，應該從硬體建設的節能做起，而非從人裁起。近來由於風扇過濾網組(FFU)搭配二次冰水系統乾式盤管(DCC)，被應用在潔淨室裡做為內部潔淨度的換氣循環，由於在使用上具有相當的靈活性及穩定性，但在潔淨室裡，若採用FFU/DCC系統或AHU/DUCT系統皆存在其相對的優缺點，今就二者差異做一比較分析C/R內循環送風系統的選擇C/R內循環送風系統的選擇C/R內循環送風系統的選擇潔淨室節能最佳化的設計原則潔淨室節能C/R內循環送風最佳化的設計原則AHU/DUCT系統:使用此系統的天花板為單層PU天花板，不考慮使用維修空間，所以其C/R的淨高度較低。FFU/DCC系統:為考量FFU安裝及日後的維修空間及循環風道，於C/RCEILINGT-GRID上層PU天花板最好能保持1.5M的高度，此一空間稱為PLENUM。為考量DCC的面積及FFU的壓損問題，所以回風牆的尺寸不能太窄，進而造成庫板的使用量增加。AHU/DUCT系統:因外氣及循環風量為同一系統的風管，為維持C/R之精確正壓較不易穫得，所在不同等級的無塵裡所要建立不同的靜壓的壓差控制較為不易。因空調做外氣的降溫除濕使用的一次冰水為7/2℃。FFU/DCC系統:因外氣為單一入口，若採用電動風門配合室內靜壓傳器或以風車變頻控制，較易穫得良好的靜壓控制。此一系統的空調機械設備之冰水供應須考慮到MAU及C/R之DCC兩項設備，DCC針對C/R所產生的顯熱荷負之去除，使用二次冰水13/18℃。AHU/DUCT系統:HEPA-BOX:採多褶高風量型，每片於額定壓損其風量為2000CMH，初始的建置成本便可以大大的降低。風量調整設備:為調整個別區間的風量，及考慮個別HEPA-BOX需要維修時，須於個別HEPA-BOX的入口端安裝風門，及於回風牆入口端安裝可調風量型的格柵。FFU/DCC系統:同一潔淨室內可以分為多區不同的製程條件下使用，大大的增加其使用調整的靈活度及風險管理。目前市面上風車機外靜壓皆在10mmaq左右，而表面出風速為0.35~0.4m/s之間的風量約在1000CMH，因此其初始建置成本較大。FFU/DCC系統:乾式盤管搭配個別區間的FFU做為C/R內顯熱交換的運轉模式，此項設備視必會大大的增加其初始建置成本。DCC泵浦相較於AHU/DUCT系統乃是一額外的設備，它是DCC做熱交換其介質的動力來源。考量個別區間不同二次冰水的流量及管路系統的水量平衡，須於DCC側安裝三通閥的方式或採用二通閥及於DCC泵的進出水端安裝一BYPASS管路及二通閥，並於PUMP之進出水端安裝一壓差感測器的施作方式，以做為水量平衡之用。AHU/DUCT系統:此一系統之主要用電需求設備，就是AHU內的風車、電熱器、加濕器，因為C/R內之循環風量及外氣風量的動力主要來源皆來自單一風車，因此其規格就相對大得多。FFU/DCC系統:此一系統MAU內的風車，就只是提供室內新鮮空氣換氣及維持適當的正壓所需的風量，因此其風車的規格較小，所以其電力設備容量相對較小。由於增加FFU做為C/R內循環風量的動力來源，因此勢必依FFU個區之電力迴路增設電力迴路控制盤及電力盤至FFU設備的二次側管線系統。結論建議謝謝蒞臨指導