随着低温等离子体在微电子工业的广泛应用和快速发展，对低气压、高密度等离子体源的需求与日俱增。目前可采用(电子回旋共振)ECR放电、感应耦合射频放电、螺旋波放电等方式生成。ECR放电生成的等离子体具有高密度、运行气压低、高电离度、大体积、均匀、无电极污染、设备简单、参数易于控制等优点，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、溅射、表面清洁等。ECR放电还可以产生高密度、高电荷态离子束，该离子束在原子物理、核物理、高能物理，甚至工业应用等方面均已经被广泛应用。在实验方面，人们已经可以通过:Langmuir探针Doppler-Shifted激光感应荧光计激光Thomsonscattering光谱法微波干涉仪能量分析仪等来进行诊断。但由于ECR放电复杂的变化过程，使得仅仅利用实验是无法深刻理解其物理机制和瞬态过程的，而且诸如：ECR加热、粒子的输运过程、带电粒子能量分布和角分布，对实际的应用起直接的指导作用，这些都需要对ECR放电进行深入的理论及模拟研究。理论及模拟研究近20年来，经过众多学者的不断努力，相继在ECR放电、ECR等离子体源特性的模拟中提出了三类模型：粒子模型、流体模型、混合模型。Outline1.物理模型1.物理模型Outline2.理论方法2.1电磁场求解2.1电磁场求解2.1电磁场求解2.2电流源求解2.2电流源求解2.3推动粒子运动2.3推动粒子运动-----MCC部分2.3推动粒子运动-----PIC部分2.4带电粒子与边界的相互作用-----二次电子发射2.4带电粒子与边界的相互作用-----二次电子发射Outline3.数值模拟3.数值模拟Outline4.诊断分析4.诊断分析4.诊断分析物理模型诊断分析诊断分析诊断分析诊断分析总结Thankyou！