1透明導電膜透明導電膜ITOITOITOITO是?麼？是?麼？ITOITO＝＝IndiumTinOxide(InIndiumTinOxide(In22OO33＋＋SnOSnO22))ITOITO的成分＝的成分＝90wt%In90wt%In22OO33與與10wt%SnO10wt%SnO22混合物混合物2?屬特性?屬特性?屬導電的原因：?屬鍵之鍵結??強，?屬導電的原因：?屬鍵之鍵結??強，電子受到外加電位即可自由運動，形成電電子受到外加電位即可自由運動，形成電子?。子?。?屬?透明的原因：光波被高密?之電子?屬?透明的原因：光波被高密?之電子吸收與反射。吸收與反射。電子?屬原子電子運動方向電?運動方向光波入射光波反射光波透射氧化物特性氧化物特性氧化物絕緣的原因：氧化物為?屬與氧氣氧化物絕緣的原因：氧化物為?屬與氧氣反應形成共價鍵，鍵結中無自由電子，因反應形成共價鍵，鍵結中無自由電子，因此?導電。此?導電。氧化物透明的原因：原子鍵結的空隙中無氧化物透明的原因：原子鍵結的空隙中無自由電子，故光波可穿透氧化物結構。自由電子，故光波可穿透氧化物結構。光波入射光波透射3透明導電氧化物透明導電氧化物氧化物結構中含有氧原子之缺陷，使自由氧化物結構中含有氧原子之缺陷，使自由電子可在這些缺陷中運動，因此可以導電子可在這些缺陷中運動，因此可以導電，但由於自由電子之密??高，因此導電，但由於自由電子之密??高，因此導電??如?屬。電??如?屬。由於自由電子之密??高，因此可以透由於自由電子之密??高，因此可以透光，但透光??如緻密氧化物。光，但透光??如緻密氧化物。電子?屬氧化物電子運動方向電?運動方向光波入射光波反射光波透射透光?與導電?之關係透光?與導電?之關係ITOITO薄膜在可?光之範圍內，鍍膜之透光?薄膜在可?光之範圍內，鍍膜之透光?與導電鍍約?成反比之關係；?如，當鍍與導電鍍約?成反比之關係；?如，當鍍膜面電阻?在膜面電阻?在1010ΩΩ/sq/sq以下時，可?光透光以下時，可?光透光?可達?可達8080﹪﹪，但當透光?欲達，但當透光?欲達9090﹪﹪以上，以上，面電阻?必須提高至面電阻?必須提高至100100ΩΩ/sq/sq以上。以上。4ITOITO鍍膜製程鍍膜製程凝膠法凝膠法(Sol(Sol--Gel)Gel)：：首先將首先將ITOITO成分之粉末以液態之分散劑均勻懸浮於成分之粉末以液態之分散劑均勻懸浮於液體中，再以旋鍍液體中，再以旋鍍(SpinningCoating)(SpinningCoating)或浸鍍或浸鍍(Dipping)(Dipping)之方式於被鍍物表面形成一層液態薄膜，之方式於被鍍物表面形成一層液態薄膜，其厚?約在其厚?約在11μμmm左右，最後再以高溫將液體蒸發，左右，最後再以高溫將液體蒸發，並將並將ITOITO粉末燒結成為緻密薄膜?。粉末燒結成為緻密薄膜?。磁控濺射法：磁控濺射法：?用磁控濺射方式將?用磁控濺射方式將ITOITO靶材原??積至基材上。靶材原??積至基材上。基材基材玻璃玻璃透明塑膠：透明塑膠：PCPC、、PETPET5ITOITO鍍膜特性鍍膜特性--面電阻?面電阻?04080120160050100150200250300350400450膜厚(nm)面電阻?(Ω／□)鍍膜厚?≒150nm以上，面電阻?可低於50Ω／sqITOITO鍍膜特性鍍膜特性--透光?透光?膜厚?同，透光?變化情形6透光?與膜厚透光?與膜厚鍍膜成分變化鍍膜成分變化長時間濺鍍，造成鍍膜中氧含??低，經導致鍍膜品質難以控制，因此有必要於製程中加入適?之氧氣。7面電阻?與氧氣分?面電阻?與氧氣分?透光?與氧氣分?透光?與氧氣分?8檢驗標準檢驗標準(a)(a)DefinitionofResistancechange(%)=(RDefinitionofResistancechange(%)=(R00--R)/RR)/R00XX100%,where100%,whereRR0=0=resistancebeforeresistancebeforeR=resistanceaftertestedR=resistanceaftertested0.9~1.10