电子显微分析方法的种类透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式出现，如：高分辨电镜（HRTEM）透射扫描电镜（STEM）分析型电镜（AEM）等等。入射电子束（照明束）也有两种主要形式：平行束：透射电镜成像及衍射会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。第一节透射电子显微镜工作原理及构造图9-2透射电子显微镜光路原理图二、构造1.电磁透镜（1）电磁透镜的结构（2）电磁透镜的光学性质成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动，而可见光是以折线形式穿过玻璃透镜。因此，电磁透镜成像时有一附加的旋转角度，称为磁转角。物与像的相对位向对实像为180，对虚像为。（3）电磁透镜的分辨本领2.照明系统图9-5热电子枪示意图灯丝和阳极间加高压，栅极偏压起会聚电子束的作用，使其形成直径为d0、会聚/发散角为0的交叉图9-6双聚光镜照明系统光路图3.成像系统图9-7透射电镜成像系统的两种基本操作(a)将衍射谱投影到荧光屏(b)将显微像投影到荧光屏三、选区电子衍射选区衍射操作步骤第二节样品制备一、间接样品(复型)的制备复型的种类图9-14塑料-碳二级复型制备过程示意图萃取复型二、直接样品的制备2.晶体薄膜样品的制备图9-15双喷电解抛光装置原理图图9-16离子减薄装置原理示意图第三节透射电镜基本成像操作及像衬度二、像衬度图9-18质厚衬度成像光路图图9-19衍射衬度成像光路图第四节电子衍射运动学理论一、运动学理论的基本假设①使样品晶体处于足够偏离布拉格条件的位向，以避免产生强的衍射，保证入射波强度不发生明显衰减；②采用足够薄的样品，尽量减小电子受到多次散射的机会。要达到这两个实验条件，实践上都有困难。一方面，原子对电子的散射振幅较大，散射强度不会很弱，而且当选用的衍射束所对应的倒易点足够偏离厄瓦尔德球面时，其附近的某个或某些倒易点又将靠近厄瓦尔德球面；另一方面，随着样品厚度的减小，倒易杆拉长，更容易产生较强的衍射，而且样品越薄则越难完全代表大块材料的性质，所以衍衬分析时样品通常不应制得太薄。可见，用运动学理论解释衍衬在大多数情况下都是近似的。①双束条件，即除直射束外只激发产生一个衍射束的成像条件。由上述讨论可知，对薄晶体样品双束条件实际上是达不到的。实践上只能获得近似的双束条件。因此，用于成像的衍射束应具有较大的偏离参量，使其强度远小于直射束强度，以近似满足运动学要求；另一方面该衍射束的强度应明显高于其它衍射束的强度，以近似满足双束条件；②柱体近似，即在计算样品下表面衍射波强度时，假设将样品分割为贯穿上下表面的一个个小柱体(直径约2nm)，而且相邻柱体中的电子波互不干扰。