一、化学反应沉积镀膜法1.化学镀——无电源电镀这种自催化反应，目前已广泛用于镀镍、钴、钯、铂、铜、银、金等金属薄膜以及含上述金属的一些合金，（例如含有磷和硼的金属合金等）。也用于某些本来不能直接依靠自身催化而沉积的金属元素和非金属元素所形成的合金镀层或形成复合镀层，例如塑料、玻璃、陶瓷等——需事先进行敏化处理。2.置换沉积镀膜（浸镀）与化学镀的区别：3.溶液水解镀膜法（2）对镀材的要求二、阳极氧化法2.阳极氧化膜的整流特性图8.4.4AAM膜的纳米孔阵列（AFM照片）三、电镀（阴极沉积法）4.对镀层的基本要求镀前彻底清洗具有细致紧密的结晶，镀层平整，光滑牢固，无针孔、麻点等。5.影响因素镀液的成分、浓度、电流密度、温度等；阳极材料的纯度；镀液pH值等。6.优缺点§8.5液相外延制膜法(LPE)一、液相外延（LiquidPhaseEpitaxy,简称LPE）（1）水平倾斜管法（2）静止溶液下滑动衬底法2.立式LPE生长系统§8.6膜厚的测量与监控一、称重法三、光学法谢谢！