无尘室测试与认证无尘室性能测试〈CleanroomPerformanceTesting〉和无尘室认证〈CleanroomCertification〉有何分别？基本上无尘室认证就是做无尘室的性能测试，但是认证者对所测试的结果要负完全责任，要保证测试仪器、测试程序都满足NEBB规定。这话说来简单，做起来可不容易，因为空调系统与无尘室的设计变化很多，有些时候业主的要求也不尽相同。在不同的设计理念与不同的业主要求之下，测试的执行就有些差异。因此做无尘室认证，首要之务是熟悉空调系统与无尘室设计。NEBB对无尘室认证人员〈称为CleanroomPerformanceTestingSupervisor〉的基本要求有四，一是对空调系统和无尘室的了解，二是对相关规范的了解，三是对测试仪器与测试程序的了解，四是本身的经验与口碑。这些是入门的要求，通过检定成为Supervisor之后，须受NEBB管辖，并且要时时温习法规规范与关注新科技发展，每年向NEBB报到至少一次，两年复检一次资格，要求很多。因此无尘室性能测试谁都可以做，只要会操作仪器就可以；但是要得到严谨可信赖的测试数据，就必须依*资格符合的专业人士。以下数据是尘室的各项性能测试说明，首先是测试简介，说明一些基本概念，之后是测试程序及注意事项。至于测试的底线，就是数据不可更改也不可抛弃，这是不变的铁律。测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contaminationcontrol〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。1.FederalStandard209E(Fed-Std-209E)：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。2.ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part1和Part2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。3.JISB9920(1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。4.VDI2083(1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的测量技术。5.Gost-R50766(1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。以上是无尘室等级规定，与洁净度测量的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。1.IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒测量，006包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于NEBB的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。2.NEBB无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非NEBB莫属。NEBB无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此NEBB无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此NEBB无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关NEBB，请参照本站NEBB。3.ISO-14698系列：14698有Part1、Part2、Part3三个子题，是